[发明专利]一种芯片晶圆加工用切割装置在审
申请号: | 202011002312.8 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN112185853A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 任晓伟 | 申请(专利权)人: | 复汉海志(江苏)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B01D46/10;B08B5/04 |
代理公司: | 盐城平易安通知识产权代理事务所(普通合伙) 32448 | 代理人: | 陈彩芳 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 晶圆加 工用 切割 装置 | ||
本发明公开了一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体,所述装置主体的上端设置有激光切割装置,所述装置主体的两侧设置有散热窗,所述装置主体的下端设置有支撑脚,所述装置主体的上表面设置有漏口,所述激光切割装置的下端设置有固定装置,所述装置主体的外表面设置有显示屏,所述显示屏的下侧设置有控制按钮,所述装置主体的下表面设置有储物箱,所述储物箱的内部设置有储屑箱,所述储屑箱的外表面设置有拉手。本发明的一种芯片晶圆加工用切割装置,具有固定芯片晶圆的优点,提高了切割效果,同时具有清洁的功能,保持装置的整洁,提高了装置的使用寿命。
技术领域
本发明涉及切割装置结构领域,特别涉及一种芯片晶圆加工用切割装置。
背景技术
芯片晶圆加工用切割装置,即是利用激光对芯片晶圆按需求进行剪切,现有的公开专利CN109920759A中的切割装置,在使用中具有缺陷,芯片晶圆直接放置在切割区域,固定效果较差,在切割过程中,芯片晶圆存在移动的情况,影响切割质量,同时不具有清洁的功能,切割产生的碎屑,易落入到装置内各个零件的内部,影响正常工作,为此,我们提出一种芯片晶圆加工用切割装置。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种芯片晶圆加工用切割装置,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体,所述装置主体的上端设置有激光切割装置,所述装置主体的两侧设置有散热窗,所述装置主体的下端设置有支撑脚,所述装置主体的上表面设置有漏口,所述激光切割装置的下端设置有固定装置,所述装置主体的外表面设置有显示屏,所述显示屏的下侧设置有控制按钮,所述装置主体的下表面设置有储物箱,所述储物箱的内部设置有储屑箱,所述储屑箱的外表面设置有拉手。
优选的,所述散热窗的数量为两组,所述散热窗对称分布于装置主体的两侧,所述散热窗与装置主体之间为固定连接,所述激光切割装置与装置主体之间为活动连接,所述固定装置与装置主体之间为固定连接。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现激光切割的作用。
优选的,所述显示屏的数量为两组,所述显示屏与装置主体之间为固定连接,所述控制按钮的数量为若干组,所述控制按钮均匀分布于显示屏的下端,所述控制按钮与装置主体之间为活动连接,所述控制按钮与显示屏之间为电性连接。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现实时控制操作的作用。
优选的,所述储物箱与装置主体之间为固定连接,所述储屑箱与储物箱之间为活动连接,所述漏口贯穿于装置主体上表面,所述储物箱的内部设置有风机,所述风机与储物箱之间为固定连接,所述装置主体的侧边内表面设置有吸气孔,所述吸气孔的数量为若干组,所述吸气孔与风机之间设置有通风管,且通过通风管实现固定连接,所述吸气孔的外侧设置有过滤网,所述过滤网与装置主体之间为固定连接。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现清理碎屑的作用,保持装置的整洁。
优选的,所述固定装置的两侧设置有蜗杆,所述蜗杆的数量为两组,所述蜗杆对称分布于固定装置的两侧,所述蜗杆与固定装置之间为活动连接,所述蜗杆的外端设置有电机,所述电机的数量为两组,所述电机对称分布于装置主体的两侧,所述电机与装置主体之间为固定连接,所述电机的前端设置有齿轮,所述齿轮的数量为两组,所述齿轮与电机之间为固定连接,所述齿轮与蜗杆之间为活动连接。
通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现对蜗杆的伸缩作用。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造