[发明专利]一种芯片晶圆加工用切割装置在审

专利信息
申请号: 202011002312.8 申请日: 2020-09-22
公开(公告)号: CN112185853A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 任晓伟 申请(专利权)人: 复汉海志(江苏)科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687;B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B01D46/10;B08B5/04
代理公司: 盐城平易安通知识产权代理事务所(普通合伙) 32448 代理人: 陈彩芳
地址: 224000 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 晶圆加 工用 切割 装置
【说明书】:

本发明公开了一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体,所述装置主体的上端设置有激光切割装置,所述装置主体的两侧设置有散热窗,所述装置主体的下端设置有支撑脚,所述装置主体的上表面设置有漏口,所述激光切割装置的下端设置有固定装置,所述装置主体的外表面设置有显示屏,所述显示屏的下侧设置有控制按钮,所述装置主体的下表面设置有储物箱,所述储物箱的内部设置有储屑箱,所述储屑箱的外表面设置有拉手。本发明的一种芯片晶圆加工用切割装置,具有固定芯片晶圆的优点,提高了切割效果,同时具有清洁的功能,保持装置的整洁,提高了装置的使用寿命。

技术领域

本发明涉及切割装置结构领域,特别涉及一种芯片晶圆加工用切割装置。

背景技术

芯片晶圆加工用切割装置,即是利用激光对芯片晶圆按需求进行剪切,现有的公开专利CN109920759A中的切割装置,在使用中具有缺陷,芯片晶圆直接放置在切割区域,固定效果较差,在切割过程中,芯片晶圆存在移动的情况,影响切割质量,同时不具有清洁的功能,切割产生的碎屑,易落入到装置内各个零件的内部,影响正常工作,为此,我们提出一种芯片晶圆加工用切割装置。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种芯片晶圆加工用切割装置,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:

一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体,所述装置主体的上端设置有激光切割装置,所述装置主体的两侧设置有散热窗,所述装置主体的下端设置有支撑脚,所述装置主体的上表面设置有漏口,所述激光切割装置的下端设置有固定装置,所述装置主体的外表面设置有显示屏,所述显示屏的下侧设置有控制按钮,所述装置主体的下表面设置有储物箱,所述储物箱的内部设置有储屑箱,所述储屑箱的外表面设置有拉手。

优选的,所述散热窗的数量为两组,所述散热窗对称分布于装置主体的两侧,所述散热窗与装置主体之间为固定连接,所述激光切割装置与装置主体之间为活动连接,所述固定装置与装置主体之间为固定连接。

通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现激光切割的作用。

优选的,所述显示屏的数量为两组,所述显示屏与装置主体之间为固定连接,所述控制按钮的数量为若干组,所述控制按钮均匀分布于显示屏的下端,所述控制按钮与装置主体之间为活动连接,所述控制按钮与显示屏之间为电性连接。

通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现实时控制操作的作用。

优选的,所述储物箱与装置主体之间为固定连接,所述储屑箱与储物箱之间为活动连接,所述漏口贯穿于装置主体上表面,所述储物箱的内部设置有风机,所述风机与储物箱之间为固定连接,所述装置主体的侧边内表面设置有吸气孔,所述吸气孔的数量为若干组,所述吸气孔与风机之间设置有通风管,且通过通风管实现固定连接,所述吸气孔的外侧设置有过滤网,所述过滤网与装置主体之间为固定连接。

通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现清理碎屑的作用,保持装置的整洁。

优选的,所述固定装置的两侧设置有蜗杆,所述蜗杆的数量为两组,所述蜗杆对称分布于固定装置的两侧,所述蜗杆与固定装置之间为活动连接,所述蜗杆的外端设置有电机,所述电机的数量为两组,所述电机对称分布于装置主体的两侧,所述电机与装置主体之间为固定连接,所述电机的前端设置有齿轮,所述齿轮的数量为两组,所述齿轮与电机之间为固定连接,所述齿轮与蜗杆之间为活动连接。

通过采用上述技术方案,可达到如下技术效果:实现对蜗杆的伸缩作用。

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