[发明专利]一种承载装置及其使用方法在审
申请号: | 202011002584.8 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN114256125A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 陈鲁;范铎;张鹏斌 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李带娣 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 承载 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种承载装置,其特征在于,包括第一接合部件和第二接合部件,所述第一接合部件和所述第二接合部件均包括接合部,用于固定待测物的边缘部;还包括施力部件,所述施力部件用于对所述第一接合部件施加远离所述第二接合部件的力,以带动所述第一接合部远离所述第二接合部件。
2.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述第一接合部件与所述第二接合部件相同,或者所述第一接合部件与所述第二接合部件不同。
3.如权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述第一接合部件和所述第二接合部件均包括第一夹体(10)和第二夹体(11),所述第一夹体(10)包括第一夹持部(101),所述第二夹体(11)包括第二夹持部(112),所述第一夹持部(101)和所述第二夹持部(112)配合夹持的边缘部;所述第一夹持部(101)用于向待测物的第二表面提供沿所述第二表面法向方向的支撑力,所述第二夹持部(112)用于向所述待测物的第一表面提供沿所述第一表面法向方向的压力。
4.如权利要求2所述的承载装置,其特征在于,所述第一夹体(10)和所述第二夹体(11)铰接,所述第二夹持部(112)通过围绕铰接轴往复转动以相对靠近或远离所述第一夹持部(101)。
5.如权利要求4所述的承载装置,其特征在于,还包括驱动部件,所述驱动部件与所述第二夹体(11)连接,用于驱动所述第二夹持部(112)围绕铰接轴转动。
6.如权利要求5所述的承载装置,其特征在于,还包括张紧部件(13),张紧于所述第二夹体(11)与所述第一夹体(10)之间,或者张紧于所述第二夹体(11)与外界固定环境之间,在所述张紧部件(13)的张紧力作用下,所述第二夹持部(112)与所述第一夹持部(101)处于合拢状态或分离状态。
7.如权利要求6所述的承载装置,其特征在于,所述张紧部件(13)为弹簧。
8.如权利要求2所述的承载装置,其特征在于,所述施力部件包括动力部和连接端,所述动力部的数量至少为一个,一个所述动力部对应至少一个所述连接端,每一个所述连接端与所述第一夹体(10)连接,以便施加力于所述第一夹体(10)。
9.如权利要求2至8任一项所述的承载装置,其特征在于,还包括基体(14),各所述第一夹体(10)滑动安装于所述基体(14),并且所述第一夹持部(101)所在平面高于所述基体(14)上表面或者所述第一夹持部(101)所在平面与所述基体(14)上表面齐平。
10.如权利要求9所述的承载装置,其特征在于,所述基体(14)包括沿周向均布的滑槽(141),所述滑槽(141)沿所述基体(14)径向分布,所述第一夹体(10)至少部分设于所述滑槽(141)内,所述施力部件用于驱动所述第一夹体(10)在所述滑槽(141)内移动。
11.一种权利要求1至10任一项所述承载装置的使用方法,其特征在于,具体包括:
将第一接合部件的接合部、第二接合部件的接合部分别与待测物边缘部的不同位置固定连接;
启动施力部件,对所述第一接合部件施加远离所述第二接合部件的力,以带动所述第一接合部远离所述第二接合部件,进而将待测物至少部分表面展平。
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