[发明专利]OHT车辆控制方法以及装置

说明书

本发明涉及一种OHT车辆控制方法以及装置，提出如下方案：在OHT的控制对象车辆的行驶中，根据与前行车辆的靠近距离达到而停止后，当所述前行车辆脱离靠近距离，控制对象车辆出发时，赋予缓冲距离或者缓冲等待时间，从而能够最小化轨道上的拥挤引起的车辆的出发和停车的重复。

技术领域

本发明涉及OHT车辆控制方法以及装置，更详细地提出如下方案：在OHT的控制对象车辆的行驶中，根据与前行车辆的靠近距离达到而停止后，当所述前行车辆脱离靠近距离，控制对象车辆出发时，赋予缓冲距离或者缓冲等待时间，从而能够最小化轨道上的拥挤引起的车辆的出发和停车的重复。

背景技术

半导体产品的生产工艺到成品为止执行几百工艺，在半导体制造工艺的执行过程中发生几十万件的物流移动。在这样的物流移送过程中，为了防止半导体材料的污染、损伤以及递送事故等，在半导体生产线中作为物流移送自动化系统适用OHT(Overhead HoistTransfer；空中走行式无人搬送车)。OHT作为在诸多半导体工艺之间将物流移送自动化的系统，承担沿配置于顶棚的轨道将装载FOUP(Front Opening Unified Pod；晶圆传送盒)中的晶圆按照生产工艺向制造设备搬运的作用。

图1是示出应用OHT的物流移送自动化系统的概要性结构图。

OHT 30在设置于顶棚的轨道40上行驶，并与指示移送作业命令的OCS(OHTControl System；OHT控制系统)20通过无线通信方式交互。OCS 20从MCS(MaterialControl System；物料控制系统)10接收与基于作业工艺的移送有关的命令，为了根据MCS10的命令使OHT 30能够在最短时间完成移送作业，搜寻从出发地至目的地的最短路径，选定位于适合执行移送作业的最佳位置的OHT并指示移送命令。然后，根据OCS20的移送命令被选定的OHT 30从OCS 20所指示的任意港(port)向目的地港(port)移动物流。

在轨道上，几十台至几百台的OHT车辆在根据移送命令行驶中，即使按照最佳的路径搜寻而形成行驶，OHT车辆间的靠近行驶区间必然会发生。尤其，在轨道上的道岔区间50等发生OHT车辆的瓶颈现象。在这种情况下，OHT车辆间可能发生冲撞事故，为了防止冲撞事故，赋予保持前行车辆与后行车辆间的靠近距离的控制技术，图2是示出与以往技术的OHT车辆间防冲撞控制有关的以往技术的示意图。

如所述图2的(a)所示，在前行车辆60和后行车辆70在相同轨道40上行驶中，后行车辆70通过前行车辆感测传感器测定与前行车辆60的距离，在如所述图2的(b)所示那样后行车辆70与前行车辆60达到已设定的靠近临界距离(A)的情况下，为了防止冲撞，后行车辆70减速停止。

之后，如所述图2的(c)所示，若前行车辆60出发运行，前行车辆60与后行车辆70间的间隔距离摆脱靠近临界距离(A)，则后行车辆70重新出发运行。

如此，为了防止前行车辆和后行车辆间的冲撞事故，根据前行车辆与后行车辆间的靠近临界距离，对后行车辆的停车和出发进行控制。

通过这样的防冲撞控制能够确保系统的安全性，但是在停滞区间或瓶颈区间不断发生OHT车辆间的靠近距离引起的停车和出发，在系统上诱发由此引起的振动。尤其，OHT车辆刚出发之后即加速区间是控制的非线性动作区间，诱发更大振动，在OHT车辆加速后立即减速的瞬间停止的情况下，加速度变化从正(+)的值逆转为负(-)的值，因此发生瞬间性反动作引起的载重(jerk)而对载货施加更大冲击。

这样的振动乃至冲击积累，从而发生被要求精密控制的系统的寿命缩短并诱发误动作的问题。

(先行技术文献)

(专利文献)

专利文献1：韩国专利授权公报第10-1980277号

发明内容