[发明专利]一种TZO靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202011015252.3 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112159963A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 胥小勇;颜建师;涂培堤;杨文宏;杨娟娟 | 申请（专利权）人： | 福建瓦能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C4/11 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李洪波 |
| 地址： | 365000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tzo 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种TZO靶材，其特征在于：所述TZO靶材密度为5.6-6.3g/cm3，所述TZO靶材电阻率为0.1-0.5Ω.cm，所述TZO靶材主成分为Zn2SnO4，所述TZO靶材使用wt.％50:50±2的ZnO、SnO2固相烧结粉末制备。
2.一种TZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
(2)使用热喷涂设备将TZO粉末喷涂在基体表面；
(3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
3.根据权利要求2所述的一种TZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中基体为合金管或不锈钢管。
4.根据权利要求2所述的一种TZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护，所述保护气体为氮气或氩气。
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