[发明专利]一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机

权利要求书

1.一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，其特征在于：所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第一铝蒸发源与所述锌蒸发源之间设有第一铝锌隔离挡板，所述第二铝蒸发源与锌蒸发源之间设有第二铝锌隔离挡板，所述第一铝锌隔离挡板及第二铝锌隔离挡板均设置在所述冷却主鼓机构的下方，所述第一铝蒸发源的上方设有第一蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第一铝锌隔离挡板与所述第一蒸镀挡板之间形成第一铝蒸镀开口，所述第二铝锌隔离挡板与所述第二蒸镀挡板之间形成第二铝蒸镀开口，所述第一铝蒸发源包括第一氮化硼蒸发舟及第一送丝机构，所述第二铝蒸发源包括第二氮化硼蒸发舟及第二送丝机构，所述第二铝蒸发源与所述第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。

2.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述第一氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

3.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述第二氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

4.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述锌蒸发源包括铁槽，铁槽内放置有锌料。

5.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述锌蒸发源的工作温度为600℃～700℃。

6.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述第一氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

7.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述第二氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

8.根据权利要求1所述的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：所述喷氧气机构靠近第二铝蒸镀开口。