[发明专利]一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机

说明书

本发明公开了一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源和第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。本发明能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成AL₂O₃均匀地镀到薄膜上，有效保护金属镀层，同时提高薄膜的耐压强度。

技术领域

本发明涉及金属化薄膜加工技术领域，具体涉及一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机。

背景技术

金属化薄膜电容器是以有机塑料薄膜(常见薄膜材料有：聚乙酯、聚丙烯、聚碳酸酯等)做介质，以金属化薄膜(即在有机塑料薄膜的表面蒸镀一层或多层金属膜代替传统金属箔)做电极，通过卷绕等方法制成的电容器，具有优异的电气性能、高稳定性、长寿命以及体积小等特性，可用于多种场所。但现有的金属化镀膜设备的结构复杂，设备机构易对薄膜和金属镀层造成损伤，且工作效率低，同时，现有金属化镀膜设备由于结构较为复杂，使得需要较大的真空空间，加重了真空泵的负担，增加抽真空能耗，且蒸发源之间无隔离，影响蒸镀效果，申请号为CN201820322468.6的一种锡锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机，解决了以上存在的问题，但其蒸发源的工作温度达到一定程度时，化学性能不稳定，会与熔融金属反应，影响金属化薄膜的蒸镀纯度，同时蒸发源的蒸发量不稳定，造成金属化薄膜的厚度不均匀，不适用于电容器用锌铝复合金属化薄膜的蒸镀。因此，为了避免现有技术中存在的缺点，有必要对现有技术做出改进。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的缺点与不足，提供一种工作稳定、蒸镀质量高的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机。

本发明是通过以下的技术方案实现的：

一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第一铝蒸发源与所述锌蒸发源之间设有第一铝锌隔离挡板，所述第二铝蒸发源与锌蒸发源之间设有第二铝锌隔离挡板，所述第一铝锌隔离挡板及第二铝锌隔离挡板均设置在所述冷却主鼓机构的下方，所述第一铝蒸发源的上方设有第一蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第一铝锌隔离挡板与所述第一蒸镀挡板之间形成第一铝蒸镀开口，所述第二铝锌隔离挡板与所述第二蒸镀挡板之间形成第二铝蒸镀开口，所述第一铝蒸发源包括第一氮化硼蒸发舟及第一送丝机构，所述第二铝蒸发源包括第二氮化硼蒸发舟及第二送丝机构，所述第二铝蒸发源与所述第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。

进一步，所述第一氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

进一步，所述第二氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

进一步，所述锌蒸发源包括铁槽，铁槽内放置有锌料。

进一步，所述锌蒸发源的工作温度为600℃～700℃。

进一步，所述第一氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

进一步，所述第二氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

进一步，所述喷氧气机构靠近第二铝蒸镀开口。