[发明专利]一种清洗干燥系统及清洗干燥方法

权利要求书

1.一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，所述掩膜板具有对位孔，其特征在于，包括：

清洗槽；

移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；

干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接；

监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；

所述吹气单元适于对所述对位孔喷射出方向可控的线状气流以吹扫干燥；

所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接；

所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动；

所述吹扫头适于伸入所述对位孔，对对位孔的内部进行吹扫；

所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。

2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动。

3.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。

4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于所述吹气单元主体的中心轴。

5.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转。

6.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。

7.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。

8.根据权利要求3所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头还具有侧出风口，所述侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。

9.根据权利要求8所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。

10.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。

11.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述监控装置包括控制单元和监测单元；

所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监测单元适于监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数；

所述控制单元适于依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。