[发明专利]一种清洗干燥系统及清洗干燥方法

说明书

本发明公开一种清洗干燥系统和清洗干燥方法。洗干燥系统适于对掩膜板进行清洗干燥，包括清洗槽、移动装置、干燥装置和监控装置。移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。干燥装置包括吹气单元和连接部件，吹气单元与连接部件可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板至第一预设位置，监控装置适于控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。通过控制掩膜板移动和吹气单元转动，能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

技术领域

本发明涉及清洗领域，具体涉及一种清洗干燥系统及清洗干燥方法。

背景技术

通常掩膜板在使用常规方式清洗干燥后，经常会出现对位孔开口周围和内部有药液和水渍残留的情况。由于药液和水渍残留，一方面会引起PPA量测时报警(pixelposition accuracy，像素位置精度)，影响作业时间；另一方面，掩膜板在蒸镀步骤对位过程中发生报警，需要停止并检查更换掩膜板，会影响蒸镀的产能。此外，残留的药液和水渍也会一定程度污染蒸镀腔室环境，长期积累会造成后续产品不良。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种清洗干燥系统及清洗干燥方法，以解决掩膜板清洗干燥过程中的药液和水渍残留的问题。

本发明提供一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，包括：清洗槽，移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。

可选的，所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接。

可选的，所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动。

可选的，所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动。

可选的，所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。

可选的，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。

可选的，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。

可选的，所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转。

可选的，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。

可选的，所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。

可选的，所述吹扫头还具有侧出风口，侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。

可选的，所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。

可选的，所述干燥装置还包括安装座，所述安装座与所述连接部件固定连接。

可选的，所述干燥装置还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。