[发明专利]一种EMCCD制冷测试装置在审

专利信息
申请号: 202011024216.3 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112304569A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 秦盼;田波;王健;丁艳丽;王自刚;刘群 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;F25B21/02
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233030 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 emccd 制冷 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种EMCCD制冷测试装置,其特征在于:它包括外罩(1),在外罩(1)内设有测试架(2),在测试架(2)上方的外罩(1)内连接有光源(1a),在外罩(1)上还通入有与测试架(2)对应配合的冷却水进管(3)和冷却水出管(4),在冷却水进管(3)上设有控制阀(3a),在外罩(1)外侧还设有与测试架(2)、光源(1a)以及控制阀(3a)形成电信号连接配合的数据处理控制单元(5)。

2.根据权利要求1中所述的一种EMCCD制冷测试装置,其特征在于:所述的测试架(2)包括底板(2a),在底板(2a)上设有两个与EMCCD器件引脚对应配合的插座(2b), 插座(2b)之间设有与冷却水进管(3)和冷却水出管(4)连接配合的换热器(2c),在换热器(2c)上设有压板(2d), 在压板(2d)两端设有与底板(2a)连接的锁栓(2e),在压板(2d)与底板(2a)之间锁栓(2e)上穿套有弹簧(2f)。

3.根据权利要求1中所述的一种EMCCD制冷测试装置,其特征在于:所述的数据处理控制单元(5)中包括上位机(5a),测试机(5b),TEC控制器(5c)。

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