[发明专利]一种低成本高纯六硼化硅生产工艺

权利要求书

1.一种低成本高纯六硼化硅生产工艺，其特征是，具体步骤如下：

（1）将三氧化二硼和硼氢化钾按照摩尔比为1:2放入星际球磨机，冲入氩气保护，球磨混料时间保证12小时，得到混制粉料；

（2）将混制粉料按照500克每份，用315吨油压机压制，压制压力≮25兆帕，得到压制块料；

（3）将步骤（2）得到的压制块料，按照每炉装料量10公斤装入石墨坩埚，放入真空碳管炉中，抽真空，真空度到3Pa，送电升温至750℃，进行第一次保温5小时，保温过程中炉内压力由负压逐步变为正压，正压到0.5Pa开启泄压阀泄压；第一次保温结束后，继续升温，5小时后温度升高至1250℃，进行第二次保温，直至炉内压力微正压，还原反应结束，石墨坩埚内剩余是单体硼和氢氧化钾混合体；

（4）将石墨坩埚内的单体硼和氢氧化钾混合体，用蒸馏水加热至50℃清洗，反复清洗3次，得到纯度≥99.9硼粉；

（5）硼粉和硅粉按照摩尔比6：1混合放入星际球磨机，冲入氩气保护，球磨混料24小时；

（6）将步骤（5）混制好的硼粉和硅粉，装入石墨坩埚中，每次装入量50公斤，放入自蔓燃反应釜中，在坩埚内混制硼粉和硅粉上面加入100克锆粉作为点火剂，所述锆粉细度为500目、活性锆含量为95%以上；反应釜抽空，真空度到1帕，送电升温，钨丝点燃锆粉，使硼粉和硅粉高温自蔓燃化合反应，化合结束，降温，将点火剂锆粉和粉体接触部分清除，得到纯度为99.5%的高纯六硼化硅。

2.根据权利要求1所述的低成本高纯六硼化硅生产工艺，其特征是：三氧化二硼纯度为99.5%，细度为325目。

3.根据权利要求1所述的低成本高纯六硼化硅生产工艺，其特征是：硼氢化钾纯度为99.9%，细度为400目。

4.根据权利要求1所述的低成本高纯六硼化硅生产工艺，其特征是：硅粉纯度为99.999%，细度为500目。