[发明专利]磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统

权利要求书

1.一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法，其特征在于，应用于控制器，包括：

在分子泵上电之后，获取分子泵的参数信息；其中，所述参数信息包括当前安装角度；

判断所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值；

若是，则获取分子泵内转子与磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的第一位移信息和第二位移信息，并基于所述第一位移信息和所述第二位移信息对所述分子泵内磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的电压进行自动调整，直至满足预设停止调整条件；其中，所述磁悬浮轴承为环形，所述磁悬浮轴承的中心设为原点建立空间直角坐标系，所述正负两个相反方向包括：x轴正方向和x轴负方向，y轴正方向和y轴负方向，z轴正方向和z轴负方向；所述预设停止调整条件为第一位移信息与第二位移信息的差值小于预设位移阈值；

所述参数信息还包括当前版本信息和第一悬浮运转参数，其中，所述当前版本信息用于表征分子泵当前材质所属代号，所述第一悬浮运转参数用于表征与所述当前版本信息对应的悬浮运转参数，所述方法还包括：

在对分子泵调整完毕之后，接收所述分子泵的调整参数；

判断所述分子泵的当前版本信息与预先存储的所述分子泵的上次版本信息是否有差异；其中，所述上次版本信息用于表征分子泵上次材质所属代号；

若有差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度、所述当前版本信息、所述第一悬浮运转参数和所述调整参数进行对应存储；

若无差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度和所述调整参数进行对应存储。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮复合分子泵自动调整方法，其特征在于，在判断所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值之后，还包括：

若所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值不大于预设角度阈值，则判断所述分子泵的当前版本信息与预先存储的所述分子泵的上次版本信息是否有差异；

若有差异，则基于所述第一悬浮运转参数对所述分子泵进行悬浮，并存储所述当前版本信息和所述第一悬浮运转参数；

若无差异，则基于所述第一悬浮运转参数对所述分子泵进行悬浮。

3.一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法，其特征在于，应用于分子泵，包括：

在上电之后，将分子泵的参数信息发送至控制器；其中，所述参数信息包括当前安装角度，以使所述控制器判断所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值；

若是，则将多个电感式位移传感器采集到的转子与磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的第一位移信息和第二位移信息发送至所述控制器，并在所述控制器的作用下对分子泵内磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的电压进行自动调整，直至满足预设停止调整条件；其中，所述磁悬浮轴承为环形，所述磁悬浮轴承的中心设为原点建立空间直角坐标系，所述正负两个相反方向包括：x轴正方向和x轴负方向，y轴正方向和y轴负方向，z轴正方向和z轴负方向；所述预设停止调整条件为第一位移信息与第二位移信息的差值小于预设位移阈值；

所述磁悬浮复合分子泵自动调整方法还包括：

在分子泵调整完毕之后，确定所述分子泵的调整参数；

在所述分子泵泵体内存储所述调整参数，并将所述分子泵的调整参数发送至所述控制器进行存储；

所述参数信息还包括当前版本信息和第一悬浮运转参数，其中，所述当前版本信息用于表征分子泵当前材质所属代号，所述第一悬浮运转参数用于表征与所述当前版本信息对应的悬浮运转参数；

所述控制器，还用于：

判断所述分子泵的当前版本信息与预先存储的所述分子泵的上次版本信息是否有差异；其中，所述上次版本信息用于表征分子泵上次材质所属代号；

若有差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度、所述当前版本信息、所述第一悬浮运转参数和所述调整参数进行对应存储；

若无差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度和所述调整参数进行对应存储。