[发明专利]磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统

说明书

本发明提供了一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统，涉及磁悬浮分子泵控制的技术领域，包括：先在分子泵上电之后，获取分子泵的参数信息；其中，参数信息包括当前安装角度；然后判断分子泵的当前安装角度与预先存储的分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值；最后若是，则对分子泵内磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的电压进行自动调整，直至满足预设停止调整条件。本发明实施例可以通过将当前安装角度和分子泵的上次安装角度进行比对的方式，实现对分子泵的自动调整，整个调整过程无需人工参与，操作简单，且提高调整效率。

技术领域

本发明涉及磁悬浮分子泵控制技术领域，尤其是涉及一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统。

背景技术

现有磁悬浮分子泵在安装到客户的腔体上时，安装角度不固定，一般最常用的是垂直或者水平。在磁悬浮分子泵的使用过程中，可能有更换安装角度的需求。在更换安装角度之后，为了使磁悬浮分子泵重新回到最佳转态，需要进行人工调整，费时费力。

发明内容

本发明的目的在于提供一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统，以缓解现有技术中存在的在更换安装角度之后，为了使磁悬浮分子泵重新回到最佳转态，需要进行人工调整，费时费力的技术问题。

第一方面，本发明提供的一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法，其中，应用于控制器，包括：在分子泵上电之后，获取分子泵的参数信息；其中，所述参数信息包括当前安装角度；判断所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值；若是，则获取分子泵内转子与磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的第一位移信息和第二位移信息，并基于所述第一位移信息和所述第二位移信息对所述分子泵内磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的电压进行自动调整，直至满足预设停止调整条件；其中，所述磁悬浮轴承为环形，所述磁悬浮轴承的中心设为原点建立空间直角坐标系，所述正负两个相反方向包括：x轴正方向和x轴负方向，y轴正方向和y轴负方向，z轴正方向和z轴负方向；所述预设停止调整条件为第一位移信息与第二位移信息的差值小于预设位移阈值。

进一步的，所述参数信息还包括当前版本信息和第一悬浮运转参数，其中，所述当前版本信息用于表征分子泵当前材质所属代号，所述第一悬浮运转参数用于表征与所述当前版本信息对应的悬浮运转参数，所述方法还包括：在对分子泵调整完毕之后，接收所述分子泵的调整参数；判断所述分子泵的当前版本信息与预先存储的所述分子泵的上次版本信息是否有差异；其中，所述上次版本信息用于表征分子泵上次材质所属代号；若有差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度、所述当前版本信息、所述第一悬浮运转参数和所述调整参数进行对应存储；若无差异，则基于所述第一悬浮运转参数和所述调整参数对所述分子泵进行悬浮，并将所述当前安装角度和所述调整参数进行对应存储。

进一步的，在判断所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值之后，方法还包括：若所述分子泵的当前安装角度与预先存储的所述分子泵的上次安装角度的差值不大于预设角度阈值，则判断所述分子泵的当前版本信息与预先存储的所述分子泵的上次版本信息是否有差异；若有差异，则基于所述第一悬浮运转参数对所述分子泵进行悬浮，并存储所述当前版本信息和第一悬浮运转参数；若无差异，则基于所述第一悬浮运转参数对所述分子泵进行悬浮。