[发明专利]操作沉积设备的方法和沉积设备

说明书

提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口(22)和基板(10)之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)，以用于从屏蔽装置(30)释放至少部分的附接的源材料。根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。

本申请是申请日为2016年5月10日、申请号为201680082636.2、发明名称为“操作沉积设备的方法和沉积设备”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及在基板上沉积例如为有机材料的材料的方法，和用于在基板上沉积例如为有机材料的材料的沉积设备。本公开内容的实施方式特别涉及具有蒸发源的沉积设备，所述蒸发源经构造以在基板上沉积蒸发的源材料，以及操作用于在基板上沉积蒸发的源材料的沉积设备的方法，特别是用于制造包括有机材料于装置中的装置。

背景技术

有机蒸发器是用于制造有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)的工具。OLED是特殊类型的发光二极管，其中发射层包括特定有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机显示器、移动电话和用于显示信息的其他手持装置。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的颜色、亮度、和视角的可行范围大于传统液晶显示器(LCD)的颜色、亮度、和视角的可行范围，因为OLED像素直接发光而不需要背光。因此，OLED显示器的能耗显著地少于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可制造于柔性基板上的事实带来进一步的应用。一般的OLED显示器例如可包括位于两个电极之间的有机材料层，所述两个电极都以形成矩阵显示面板的方式沉积于基板上，所述矩阵显示面板具有可单独供能的(individually enregizable)像素。OLED一般位于两个玻璃面板之间，并且玻璃面板的边缘被密封，以封装OLED于玻璃面板中。

制造此类显示装置面临许多挑战。OLED显示器或OLED照明应用包括若干有机材料的堆叠结构(stack)，有机材料的堆叠结构例如是在真空中蒸镀的。有机材料通过阴影掩模(shadow mask)以连续的方式沉积。对于以高效率制造OLED堆叠结构来说，共沉积或共蒸发两种或更多种材料是有利的，所述两种或更多种材料例如为形成混合/掺杂层的主体(host)和掺杂剂。此外，必须考虑用于蒸镀非常敏感的(sensitive)有机材料的若干工艺条件。

为了将材料沉积于基板上，加热材料直到材料蒸发。管导引蒸发的材料通过喷嘴到达基板。在过去几年中，沉积工艺的精确度已经增加，例如为了能够提供越来越小的像素尺寸。在一些工艺中，掩模在蒸发的材料通过掩模开口时用于限定像素。然而，掩模的遮蔽效应(shadowing effect)、蒸发的材料的散布和类似情况使得难以进一步增加蒸发工艺的精确度和可预测性。

有鉴于上述，增加用于制造具有高质量和精确度的装置的蒸发工艺的精确度和可预测性是有利的。

发明内容

有鉴于上述，提供操作沉积设备的方法以及沉积设备。

根据本公开内容的一个方面，提供一种操作沉积设备的方法，所述方法包括通过从蒸发源的一个或多个出口导引蒸发的源材料朝向基板而在基板上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置阻挡并且附接于屏蔽装置，所述屏蔽装置布置于一个或多个出口和基板之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置来清洁屏蔽装置，以用于从屏蔽装置释放至少部分的附接的源材料。所述方法可以通过至少局部地加热所述屏蔽装置以从所述屏蔽装置释放至少部分的附接的源材料，来清洁所述屏蔽装置。

上述方法中，清洁可以包括相对于材料收集单元从沉积位置移动所述蒸发源至维修位置，在所述维修位置中所述屏蔽装置面向所述材料收集单元，其中所述屏蔽装置在所述维修位置中被加热。