[发明专利]可翻转承载装置在审
| 申请号： | 202011035365.X | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112111723A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 段尧;邓荣斌;王念;张丽娟;鲁朝宇;段登辉;马兴民 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 翻转 承载 装置 | ||
1.可翻转承载装置，设置于超高真空成膜设备内，该装置包括行星基片架（1），其特征在于该装置还包括旋转机构（2）和翻转机构（3），其中：
旋转机构（2）设置在行星基片架（1）上表面，旋转机构（2）包括垂直转轴（2-1）、伺服电机（2-2）、电磁离合器（2-3）以及扇形旋转架（2-4），垂直转轴（2-1）设置于行星基片架（1）中央，垂直转轴（2-1）上端与伺服电机（2-2）的转子联动，转子与垂直转轴（2-1）间设置有电磁离合器（2-3）；垂直转轴（2-1）下端与扇形旋转架（2-4）的圆心角处连接；扇形旋转架（2-4）弧面上设置轮齿；
翻转机构（3）设置在行星基片架（1）开孔处，翻转机构（3）包括固定夹（3-1）、翻转转轴（3-2）和齿轮（3-3）；固定夹（3-1）为环形，固定夹（3-1）上设置用于锁定基片的夹具；固定夹（3-1）两侧设置翻转转轴（3-2），所述行星基片架（1）开孔处设置对应的轴承，一侧翻转转轴（3-2）上设置翻转齿轮（3-3），所述翻转齿轮（3-3）与扇形旋转架（2-4）啮合。
2.如权利要求1所述的可翻转承载装置，其特征在于行星基片架（1）上方设置有定位轴承，所述定位轴承与超高真空成膜设备固定连接，所述垂直转轴（2-1）穿过定位轴承。
3.如权利要求1所述的可翻转承载装置，其特征在于扇形旋转架（2-4）悬浮于行星基片架（1）上方，扇形旋转架（2-4）底部设置滚轮。
4.如权利要求1所述的可翻转承载装置，其特征在于固定夹（3-1）内环直径大于待镀膜基片的直径。
5.如权利要求1所述的可翻转承载装置，其特征在于夹具不少于两组，夹具沿固定夹（3-1）等距布置；所述夹具采用弹簧压片及扭簧夹的组合。
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