[发明专利]一种LCP封装基板、制造方法及多芯片系统级封装结构

说明书

本发明公开了一种LCP封装基板、制造方法及多芯片系统级封装结构，所述LCP封装基板包括：从表面至底面分布的n层图形化金属线路层；第二层图形化金属线路层的最外围至少一条边上，分布有所述LCP封装基板对外二次级联I/O焊接用焊盘或图形；位于相邻图形化金属线路层之间的绝缘介质层；第二层图形化金属线路层和第三层图形化金属线路层之间的绝缘介质层，由LCP基板和非LCP材料基板构成；位于第一层图形化金属线路层和第二层图形化金属线路层之间的绝缘介质层中的多个盲槽；位于相邻图形化金属线路层之间的多个盲孔。本发明实现了一种能够满足多芯片、高气密要求、高电磁屏蔽、高可靠互联的系统级封装要求的近气密封装结构的LCP封装基板。

技术领域

本发明涉及集成电路、芯片封装技术领域，尤其是一种LCP封装基板、制造方法及多芯片系统级封装结构，用于面向射频、微波、毫米波等高频应用的高可靠系统级封装。

背景技术

随着半导体及集成电路技术进步，系统集成要求进一步提升，当前的电子电路设计和制造，都朝着尺寸更小、集成密度更高方向发展，相当大的工作都在多芯片封装领域进行。在先进的封装形式中，通过SIP技术，将多个射频(RF)芯片、数字集成电路(IC)芯片、微小型片式元器件等，组装在封装基板上，然后集成于一个封装体中。这种多芯片的封装形式，缩短了芯片之间的引脚距离，大大提高了封装密度，一定程度可以满足系统级封装的需求。

根据封装基板材料的不同，封装方式通常又可分为两种：一种是采用具有空腔结构的多层陶瓷封装，另一种是采用多层PCB基板作为芯片衬底材料的塑料封装。

陶瓷封装基板具有高集成密度、高可靠性、高气密性、高热导率、优良的耐腐蚀性等优点。但受制于陶瓷材料与PCB电路板材料的热失配，无法进行大尺寸的封装，同时陶瓷封装存在制造成本极高的问题。

塑料封装基板具有成本低，工艺相对简单，互联密度较高的特点，且可通过BGA等形式，实现与PCB母板的二次高密度互联。其最大不足是普通PCB材料吸湿率高、阻挡水汽性能较差，无法做到气密封装；同时受限一般树脂材料的介电特性(介电常数、介质损耗)，无法应用于射频/微波传输。这些不足限制了塑料封装在高可靠、高性能芯片封装中的应用，目前其主要应用领域是消费类电子。

液晶聚合物(LCP)材料，由于具有优异的介电传输特性，极低的吸湿率、透水性和氧透过率，与铜匹配的平面热膨胀系数，高的耐热性和耐化学腐蚀性等突出优点，契合了射频/微波芯片对封装基板材料的严苛要求，是高可靠、高性能芯片封装应用领域潜力巨大、应用前景广阔的新一代基板材料。

中国专利CN106486427A、CN206259334U，公开了一种基于LCP基板的封装外壳及制备方法，以LCP基板作为芯片安装的衬底层，辅以芯片组装、金属围框、盖板焊接等技术，提供一个芯片气密封装的解决方案。该封装形式中，没有给出作为封装基板的具体结构和制造方法；其封装形式缺少对外互联接口，无法实现封装体的二次级联；LCP基板不具备电路分区特征，无法为多芯片复杂系统提供的良好电磁屏蔽基础，电路串扰问题难以规避。

中国专利CN102593077A，公开了一种液晶聚合物的封装结构，采用高熔点LCP复合盖板和低熔点LCP管壳热熔组合在一起，形成一种用于芯片气密封装的结构。该封装结构过于简单，没有涉及基板的具体结构特征和实现方法。