[发明专利]一种激光干涉仪

说明书

本发明提供一种激光干涉仪，包括激光发生器、调整装置、第一分光镜、第一角锥反射镜、第二角锥反射镜、第二分光镜、压缩透镜、接收器、检测装置；第一分光镜为偏振分光镜包括基层和膜系，膜系结构包括三个膜堆均由非四分之一波长光学厚度的高折射率膜层和低折射率膜层交替堆叠；激光发生器发出的激光经调整装置后进入第一分光镜，第一分光镜将激光分为参考光和测量光，参考光反射后出射，测量光反射后出射，两束光经第一分光镜反射后汇合成集合光束，进入第二分光镜；集合光束经第二分光镜分成第一分光束和第二分光束，第一分光束传送至接收器用于位置测量，第二分光束投影到检测装置用来观测参考光斑和测量光斑的重合度。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，具体涉及一种激光干涉仪。

背景技术

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

而应用在测量装置用的分光片通常采用偏振分光镜，现有技术中，偏振分光镜的都是由1/4光学厚度的高低折射率介质膜层交替堆叠。对于滤光片，中心波长定义为带通滤光片宽带的中心，宽带位置定义常为透过率峰值下降50％处的宽带，也可以定位为峰值下降90％处的宽带。对于非带通滤光片，可以定义使用的波长范围的中心，为中心波长。

偏振分光镜的基础膜系通常为(HL)^m，可以采用常规的短波通的基础膜系结构或者长波通的基础膜系结构，但只能实现4％的中心波长范围的偏振分离。而采用的长波通和短波通膜系迭加的方式可以实现8％的中心波长范围的偏振分离。但现有技术中还没有偏振分光镜能够实现10％的中心波长范围的偏振分离。

发明内容

针对现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种激光干涉仪。

本发明的技术方案概述如下：

本发明提供一种激光干涉仪，包括激光发生器、调整装置、第一分光镜、第一角锥反射镜、第二角锥反射镜、第二分光镜、压缩透镜、接收器、检测装置；

其中，第一分光镜为偏振分光镜，所述偏振分光镜包括基层和堆叠在基层上的膜系，所述膜系的膜系结构包括第一膜堆、第二膜堆及第三膜堆，每个所述膜堆均由非四分之一波长光学厚度的高折射率膜层和低折射率膜层交替堆叠；所述第一膜堆与第三膜堆的顺序可调换；

所述激光发生器发出的激光经调整装置后进入所述第一分光镜，所述第一分光镜将激光分为参考光和测量光，参考光经所述第一角锥反射镜反射后出射，测量光经第二角锥反射镜反射后出射，两束光经所述第一分光镜反射后汇合成集合光束，进入第二分光镜；集合光束经所述第二分光镜分成第一分光束和第二分光束，第一分光束经所述压缩透镜压缩后传送至所述接收器，用于位置测量，第二分光束投影到所述检测装置，用来观测参考光斑和测量光斑的重合度，根据参考光斑和测量光斑调整所述调整装置。

进一步地，第一膜堆采用(aHbL)^m的初始结构；第二膜堆采用((aHbL)^p(cHdL)^q)^r的初始结构；第三膜堆采用(cHdL)^n；

或，第一膜堆采用(cHdL)^n的初始结构；第二膜堆采用((aHbL)^p(cHdL)^q)^r的初始结构；第三膜堆采用(aHbL)^m；

或，第一膜堆采用(aHbL)^m的初始结构；第二膜堆采用((cHdL)^q(aHbL)^p)^r的初始结构；第三膜堆采用(cHdL)^n；

或，第一膜堆采用(cHdL)^n的初始结构；第二膜堆采用((cHdL)^q(aHbL)^p)^r的初始结构；第三膜堆采用(aHbL)^m；