[发明专利]一种晶圆蚀刻背面研磨机

权利要求书

1.一种晶圆蚀刻背面研磨机，其结构包括研磨机构(1)、覆盖盘(2)、设备座(3)、控制面板(4)，所述研磨机构(1)嵌固安装在设备座(3)的右侧上端面，所述覆盖盘(2)与设备座(3)卡合连接，所述控制面板(4)镶固卡合安装在设备座(3)的右侧端面；其特征在于：

所述研磨机构(1)包括真空槽(11)、安装机构(12)、研磨机(13)、滑轨(14)，所述真空槽(11)镶嵌设于滑轨(14)的正上方，所述安装机构(12)镶嵌卡合安装在研磨机(13)的正上方，所述研磨机(13)活动卡合安装在滑轨(14)的正上方，所述滑轨(14)通过焊接安装在研磨机(13)的正下方；

所述安装机构(12)包括卡齿(121)、镶嵌块(122)、放置盘(123)、贴合机构(124)，所述卡齿(121)镶嵌卡合安装在镶嵌块(122)的上端左右两侧，所述镶嵌块(122)内侧端面镶嵌卡合安装着贴合机构(124)，所述放置盘(123)位于贴合机构(124)的正下方，所述贴合机构(124)对称安装在卡齿(121)的下端左右两侧；

所述贴合机构(124)包括转轴(241)、橡胶块(242)、活动板(243)、柔性块(244)、弹簧(245)，所述转轴(241)活动卡合安装着活动板(243)，所述橡胶块(242)镶嵌设于活动板(243)的正上方，所述活动板(243)右侧外端面嵌固安装着柔性块(244)，所述柔性块(244)镶嵌设于弹簧(245)的右侧方，所述弹簧(245)镶嵌卡合安装在贴合机构(124)的内侧端面；

所述橡胶块(242)包括橡胶条(421)、空气槽(422)、镶嵌槽(423)、渗气孔(424)、第二橡胶块(425)，所述橡胶条(421)镶嵌设于空气槽(422)的正上方，所述空气槽(422)镶嵌卡合安装在镶嵌槽(423)的右侧方，所述镶嵌槽(423)嵌固安装在渗气孔(424)的右侧方，所述渗气孔(424)均匀分布在橡胶块(242)的左侧内端面，所述第二橡胶块(425)对称安装在镶嵌槽(423)的右侧上下两端；

所述研磨机(13)包括隔热机构(131)、放射口(132)、导热块(133)、限位板(134)、延长管(135)，所述隔热机构(131)镶嵌安装在放射口(132)的正上方，所述放射口(132)横向外侧端面镶嵌贴合连接着导热块(133)，所述导热块(133)对称安装在限位板(134)的上端左右两侧，所述限位板(134)嵌固安装在延长管(135)的正上方，所述延长管(135)嵌套安装在研磨机(13)的内侧端面；

所述隔热机构(131)包括第二导热板(311)、镶嵌条(312)、散热条(313)、水槽(314)、照射孔(315)，所述第二导热板(311)对称安装在照射孔(315)的左右两端，所述镶嵌条(312)镶嵌卡合安装在隔热机构(131)的内侧端面，所述散热条(313)通过焊接均匀镶嵌卡合安装在镶嵌条(312)的上端外侧面，所述水槽(314)环绕包裹在照射孔(315)的外侧端面，所述照射孔(315)镶嵌设于隔热机构(131)的正中心。