[发明专利]在有机胶层上形成含银金属层的方法有效
| 申请号： | 202011064144.5 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114318230B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 毛传银 | 申请（专利权）人： | 镭亚电子（苏州）有限公司;镭亚股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 于小宁 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 胶层上 形成 金属 方法 | ||
1.一种在有机胶层上形成含银金属层的方法，包括：
在基板上提供有机胶层；以及
在含氧环境下将含银金属作为靶材执行溅射工艺，以在所述有机胶层上形成含银金属层，其中，
在含氧环境中将所述含银金属作为靶材执行溅射工艺包括：
在整个所述溅射工艺中持续通入氧气并且控制所述氧气的流量，使得所述有机胶层表面的有机物杂质与氧元素发生反应并从所述有机胶层表面脱离。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述氧气的流量被控制为大于0SCCM并且小于或等于10SCCM。
3.如权利要求2所述的方法，其中，所述氧气的流量被控制为大于或等于5SCCM并且小于或等于10SCCM。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，在所述溅射工艺中，同时通入氧气和惰性气体，且所述氧气的流量和所述惰性气体的流量被独立控制。
5.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述有机胶层包括丙烯酸胶层，并且所述在基板上提供有机胶层包括：
在所述基板上涂覆液态有机胶材料；以及
通过紫外光(UV)照射而固化所述液态有机胶材料，以形成所述丙烯酸胶层。
6.如权利要求5所述的方法，其中，通过旋涂工艺在所述基板上涂覆液态有机胶材料。
7.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述含银金属包括银钯铜合金。
8.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，在所述基板上提供有机胶层之后并且在含氧环境下将所述含银金属作为靶材执行溅射工艺之前，还包括：
对所述有机胶层执行表面清洁处理。
9.如权利要求8所述的方法，其中，所述表面清洁处理包括大气等离子体处理。
10.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，在所述有机胶层上形成所述含银金属层之后，还包括：
对所述基板执行烘焙处理。
11.如权利要求10所述的方法，其中，所述烘焙处理在80℃至110℃的温度范围内执行30-60分钟。
12.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述基板为显示基板或触控基板。
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