[发明专利]一种可变焦微透镜组的制备方法及可变焦微透镜组

权利要求书

1.一种可变焦微透镜组的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：提供一非磁性镜筒，将磁性光刻胶注入所述非磁性镜筒内；

S200：依据磁性透镜的三维模型向一焦点处投射飞秒激光脉冲，同时带动所述非磁性镜筒内的所述磁性光刻胶进行三维移动，以将所述磁性光刻胶的聚合固化点依次定位至焦点处进行聚合固化，使得所述磁性光刻胶的内部聚合固化成所述磁性透镜的形状；

S300：采用显影液去除未聚合固化的所述磁性光刻胶，得到可在所述非磁性镜筒内沿光轴方向移动的磁性透镜。

2.根据权利要求1所述的可变焦微透镜组的制备方法，其特征在于，所述非磁性镜筒的制备方法包括如下步骤：

S101：提供一基底，将非磁性光刻胶滴在所述基底上；

S102：依据所述非磁性镜筒的三维模型向焦点处投射飞秒激光脉冲，同时带动所述基底上的所述非磁性光刻胶进行三维移动，以将所述非磁性光刻胶的聚合固化点依次定位至焦点处进行聚合固化，使得所述非磁性光刻胶的内部聚合固化成所述非磁性镜筒的形状；

S103：采用显影液去除未聚合固化的所述非磁性光刻胶，得到所述非磁性镜筒。

3.根据权利要求2所述的可变焦微透镜组的制备方法，其特征在于，在步骤S101中，在将所述非磁性光刻胶滴在所述基底上后，还包括：将一盖玻片盖在所述非磁性光刻胶上。

4.根据权利要求3所述的可变焦微透镜组的制备方法，其特征在于，在步骤S101中，所述基底在所述非磁性光刻胶的外围处凸出形成有垫高部或设置有垫高物，以将所述盖玻片垫高，使所述盖玻片和基底之间留有一定的加工空隙，以容纳所述非磁性光刻胶。

5.根据权利要求1-4中任一所述的可变焦微透镜组的制备方法，其特征在于，所述非磁性镜筒内形成有位置固定的非磁性透镜。

6.一种可变焦微透镜组，其特征在于，包括非磁性镜筒和磁性透镜，所述磁性透镜设置于所述非磁性镜筒内，且在磁场力的作用下可在所述非磁性镜筒内沿光轴方向移动。

7.根据权利要求6所述的可变焦微透镜组，其特征在于，所述非磁性镜筒内形成有位置固定的非磁性透镜。

8.根据权利要求6或7所述的可变焦微透镜组，其特征在于，所述非磁性镜筒的侧壁内壁上凸出形成有第一卡位结构和第二卡位结构，所述第一卡位结构和第二卡位结构沿光轴方向相对；所述磁性透镜位于所述第一卡位结构和第二卡位结构之间。

9.根据权利要求6-8中任一所述的可变焦微透镜组，其特征在于，所述非磁性镜筒的侧壁上开设有至少一镂空槽。

10.根据权利要求6-9中任一所述的可变焦微透镜组，其特征在于，所述非磁性镜筒采用非磁性光刻胶制作，所述磁性透镜采用磁性光刻胶制作。