[发明专利]一种可变焦微透镜组的制备方法及可变焦微透镜组

说明书

本发明公开了一种可变焦微透镜组的制备方法，包括如下步骤：S100：提供一非磁性镜筒，所述非磁性镜筒内形成有位置固定的非磁性透镜，将磁性光刻胶注入所述非磁性镜筒内；S200：依据磁性透镜的三维模型向焦点处投射飞秒激光脉冲，同时带动所述非磁性镜筒内的所述磁性光刻胶进行三维移动，以将所述磁性光刻胶的聚合固化点依次定位至焦点处进行聚合固化，使得所述磁性光刻胶的内部聚合固化成所述磁性透镜的形状；S300：采用显影液去除未聚合固化的所述磁性光刻胶，得到可在所述非磁性镜筒内沿光轴方向移动的磁性透镜。该制备方法可直接在非磁性镜筒内制作可由磁场力驱动的磁性透镜。本发明还公开了一种可变焦微透镜组。

技术领域

本发明涉及微电机领域，尤其涉及一种可变焦微透镜组的制备方法及可变焦微透镜组。

背景技术

透镜驱动装置是一种微电机装置，通过驱动透镜和透镜之间相对移动或者透镜和图像传感器之间相对移动来实现光学变焦或对焦功能。基于电磁原理进行驱动的透镜驱动装置广泛应用于手机摄像头中，这类透镜驱动装置需要在搭载透镜的镜筒外围上缠绕一层电磁线圈，工艺复杂，不利于小型化集成，更不利于做成微纳器件，同时透镜大多采用玻璃或塑料制成，而镜筒也采用塑料制成，生物兼容性不好，影响了在医学领域中的应用。

激光微加工技术具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度、形状易于控制等优点。激光微加工独特的“直写”技术，简化了工艺，实现了微型构件的快速成型制造。激光微立体光刻技术是快速成型的立体光刻工艺应用于微制造领域中衍生出来的一种加工技术，它以树脂材料为原料，激光焦点处或树脂基底可控运动，焦点处扫描处树脂聚合固化，获得微构件。其最大特点是不受微型器件或系统结构形状的限制，可以加工包含曲面在内的任意三维结构，并且可以将不同的微构件一次成型，不需微装配环节。在微立体光刻中利用飞秒脉冲激光实现三维微加工具有显著优点；包括“冷”加工，光和物质超快相互作用过程超快、功率极高，使加工过程在最大限度上避免了热效应；高精度，由于多光子过程的吸收截面非常小，使加工精度达到几十纳米。因此，激光微纳加工技术已经被看作是制备微结构的最有效手段之一，拥有巨大的应用潜力和诱人的发展前景。

发明内容

为了解决上述现有技术的不足，本发明提供一种可变焦微透镜组的制备方法，可直接在非磁性镜筒内制作可由磁场力驱动的磁性透镜。

本发明还提供一种可变焦微透镜组。

本发明所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

一种可变焦微透镜组的制备方法，包括如下步骤：

S100：提供一非磁性镜筒，将磁性光刻胶注入所述非磁性镜筒内；

S200：依据磁性透镜的三维模型向一焦点处投射飞秒激光脉冲，同时带动所述非磁性镜筒内的所述磁性光刻胶进行三维移动，以将所述磁性光刻胶的聚合固化点依次定位至焦点处进行聚合固化，使得所述磁性光刻胶的内部聚合固化成所述磁性透镜的形状；

S300：采用显影液去除未聚合固化的所述磁性光刻胶，得到可在所述非磁性镜筒内沿光轴方向移动的磁性透镜。

进一步地，所述非磁性镜筒的制备方法包括如下步骤：

S101：提供一基底，将非磁性光刻胶滴在所述基底上；

S102：依据所述非磁性镜筒的三维模型向焦点处投射飞秒激光脉冲，同时带动所述基底上的所述非磁性光刻胶进行三维移动，以将所述非磁性光刻胶的聚合固化点依次定位至焦点处进行聚合固化，使得所述非磁性光刻胶的内部聚合固化成所述非磁性镜筒的形状；

S103：采用显影液去除未聚合固化的所述非磁性光刻胶，得到所述非磁性镜筒。

进一步地，在步骤S101中，在将所述非磁性光刻胶滴在所述基底上后，还包括：将一盖玻片盖在所述非磁性光刻胶上。