[发明专利]波浪形光栅、显示面板及波浪形光栅的制造方法

权利要求书

1.一种波浪形光栅，其特征在于，所述光栅包括间隔设置的透光区域和非透光区域，所述非透光区域设置有拱形结构，所述拱形结构包括第一无机层和第二无机层，所述第二无机层覆盖所述第一无机层，覆盖区域包括第一无机层的顶部和侧边。

2.根据权利要求1所述的波浪形光栅，其特征在于，所述第一无机层为三角形结构，该三角形结构包含一个底边和两条侧边；

第二无机层的内表面覆盖所述三角形结构的两条侧边，其外表面为拱形。

3.根据权利要求2所述的波浪形光栅，其特征在于，所述第二无机层的外表面的所有位置上的切线与垂直于所述三角形结构的底边的中垂线的夹角均大于5°。

4.根据权利要求3所述的波浪形光栅，其特征在于，

所述三角形结构的高度为h1，所述高度是指从三角形的底边到顶点的垂直距离；

所述三角形结构的顶点至第二无机层的顶点之间的距离是h2；

则h1和h2之间满足如下关系：1/3h1/h22/3。

5.根据权利要求4所述的波浪形光栅，其特征在于，所述三角形结构的高度与底边长度之比为3：2。

6.根据权利要求5所述的波浪形光栅，其特征在于，所述拱形结构的宽度与高度之比为3：2。

7.根据权利要求1-6任一所述的波浪形光栅，其特征在于，所述第一无机层的折射率小于所述第二无机层折射率。

8.根据权利要求7所述的波浪形光栅，其特征在于，所述第一无机层采用氧化硅；

所述第二无机采用如下材料中的任一种：氮化硅材料、或二氧化钛、或氧化铝、砷玻璃材料。

9.一种显示面板，其特征在于，该显示面板包括权利要求1-8所述的波浪形光栅。

10.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括依次设置的基板、波浪形光栅、背板、电致发光器件层和封装层。

11.一种波浪形光栅的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

提供具有压印图形的压印模板；

提供基片、以及位于所述基片上的第一无机膜层和位于所述第一无机膜层之上的压印胶层；

根据所述压印模板对所述压印胶层进行压印，压印出与所述压印模板对应的压印图案；

将所述压印胶层的所述压印图案作为掩模版对所述第一无机膜层进行刻蚀形成三角形光栅；

经化学气相沉积在所述三角形光栅上沉积第二无机层，所述第二无机层覆盖所述三角形光栅的每个三角形，以形成波浪形光栅。

12.根据权利要求11所述的波浪形光栅的制造方法，其特征在于，所述压印图案为矩形图案。