[发明专利]波浪形光栅、显示面板及波浪形光栅的制造方法

说明书

本申请公开了一种波浪形光栅、显示面板及波浪形光栅的制造方法。该波浪形光栅，光栅包括间隔设置的透光区域和非透光区域，非透光区域设置有拱形结构，拱形结构包括第一无机层和第二无机层，第二无机层覆盖第一无机层，覆盖区域包括第一无机层的顶部和侧边。通过将光栅设置成包括第一无机层和第二无机层，且第二无机层覆盖第一无机层的光栅结构形成波浪形光栅，上述结构能够解决难以形成波浪形光栅的问题。

技术领域

本公开一般涉及显示技术领域，尤其涉及波浪形光栅、显示面板及波浪形光栅的制造方法。

背景技术

目前纳米压印模板大多为矩形光栅。某些领域项目中需要的光栅结构为无尖角、表面光滑、拱高较高的波浪形光栅，仅使用压印工艺难以制备该波浪形光栅，且波浪形光栅的所采用的结构也是亟待解决的技术问题。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种波浪形光栅、显示面板及波浪形光栅的制造方法。

第一方面，提供一种波浪形光栅，光栅包括间隔设置的透光区域和非透光区域，非透光区域设置有拱形结构，拱形结构包括第一无机层和第二无机层，第二无机层覆盖第一无机层，覆盖区域包括第一无机层的顶部和侧边。

在一些实施例中，第一无机层为三角形结构，该三角形结构包含一个底边和两条侧边；

第二无机层的内表面覆盖三角形结构的两条侧边，其外表面为拱形。

在一些实施例中，第二无机层的外表面的所有位置上的切线与垂直于三角形结构的底边的中垂线的夹角均大于5°。

在一些实施例中，三角形结构的高度为h1，高度是指从三角形的底边到顶点的垂直距离；

三角形结构的顶点至第二无机层的顶点之间的距离是h2；

则h1和h2之间满足如下关系：1/3h1/h22/3。

在一些实施例中，三角形结构的高度与底边长度之比为3：2。

在一些实施例中，拱形结构的宽度与高度之比为：3：2。

在一些实施例中，第一无机层的折射率小于第二无机层折射率。

在一些实施例中，第一无机层采用氧化硅；

第二无机采用如下材料中的任一种：氮化硅材料、或二氧化钛、或氧化铝、砷玻璃材料。

第二方面、提供一种显示面板，该显示面板包括权利要求1-7的波浪形光栅。

在一些实施例中，显示面板包括依次设置的基板、波浪形光栅、背板、电致发光器件层和封装层。

第三方面提供一种波浪形光栅的制造方法，方法包括：

提供具有压印图形的压印模板；

提供基片、以及位于基片上的第一无机膜层和位于第一无机膜层之上的压印胶层；

根据压印模板对压印胶层进行压印，压印出与压印模板对应的压印图案；

将压印胶层的压印图案作为掩模版对第一无机膜层进行刻蚀形成三角形光栅；

经化学气相沉积在三角形光栅上沉积第二无机层，第二无机层覆盖三角形光栅的每个三角形，以形成波浪形光栅。

在一些实施例中，其特征在于，压印图案为矩形图案。