[发明专利]一种真空磁控溅射设备腔室密封面的研磨装置

说明书

本发明公开了一种真空磁控溅射设备腔室密封面的研磨装置，包括有主体框架，所述主体框架的底部开设有环形导轨，所述环形导轨的内部至少滑动连接有一个活动球，所述活动球的底部转动连接有连接板，所述连接板的一侧固定连接有基板，所述基板的一侧固定连接有固定块，所述固定块的内部活动连接有L形架，所述L形架顶部的左右两侧均固定连接有液压杆，本发明通过活动板和液压杆之间配合可以调节打磨电机的高度进而调节打磨圆盘的高度，再配合第一弹簧、活动槽、固定块和滑块可以实现对整个L形架的减震，进而实现再打磨时，增加打磨圆盘的一个压力，实现既可以调节打磨圆盘高度的同时也可以增加对研磨件的一个压力。

技术领域

本发明涉及镀膜玻璃生产制造技术领域，具体是一种真空磁控溅射设备腔室密封面的研磨装置。

背景技术

在现有技术中，镀膜玻璃采用真空磁控溅射技术，靶材安装在阴极盖板上，阴极盖板安装在腔室上，在阴极盖板和腔室之间有一层密封面，表面极其光滑，用来保证密封接触良好。每个保养周期要对密封面进行研磨，以保证光洁的密封面及优秀的密封效果。目前采用纯人工的方式进行研磨，研磨进度不受控，研磨质量不能保证。

中国专利(CN210550129U)公开了一种一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置，其包括主体框架、驱动机构、至少一个研磨机构及传动机构；驱动机构包括第一驱动机构，第一驱动机构与传动机构连接；传动机构包括带轮及皮带，第一驱动机构驱动带轮转动，在带轮的带动下，皮带移动；每一个研磨机构包括上下相对设置的基板和支撑板以及设置在支撑板下的研磨件，基板与皮带连接，研磨机构与主体框架通过导轨轴承连接，该专利设计的研磨装置，通过设置导轨、传动机构和研磨机构，可实现自动化研磨，生产效率高，省时省力。

但是该专利所涉及到的连接件和弹性件分别位于支撑板和基板之间，达不到具有弹性的作用，没办法增加对研磨件的一个压力，要同时实现既可以调节研磨件的高度，也可以增加对研磨件的一个压力，是当前需要解决的一个问题，同时该专利所涉及到的导轨轴承和导轨之间的摩擦系数会比较高，仅通过皮带带动移动，容易对皮带造成损伤。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空磁控溅射设备腔室密封面的研磨装置*，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

本发明提供一种真空磁控溅射设备腔室密封面的研磨装置，包括有主体框架，所述主体框架的底部开设有环形导轨，所述环形导轨的内部至少滑动连接有一个活动球，所述活动球的底部转动连接有连接板，所述连接板的一侧固定连接有基板，所述基板的一侧固定连接有固定块，所述固定块的内部活动连接有L形架，所述L形架顶部的左右两侧均固定连接有液压杆，两个所述液压杆的顶端之间固定连接有活动板，所述活动板顶部的左右两侧均通过第一弹簧与基板底部的左右两侧固定连接，所述活动板底部的中心固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出端固定连接有打磨圆盘，所述环形导轨内部的两侧均设置有滚珠，该滚珠外表面的一侧与活动球的表面相接触，所述固定块的内部左右两侧均开设有活动槽，活动在固定块内部的所述L形架的两侧均固定连接有滑块。

作为本发明的一种优选技术方案：所述滑块的外表面与活动槽的内部滑动连接。

作为本发明的一种优选技术方案：所述主体框架底部的四角均转动连接有驱动轮，四个所述驱动轮之间通过传送皮带传动连接，所述主体框架顶部的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端与其中一个驱动轮的顶部通过中心轴固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案：所述传送皮带的一侧至少固定连接有一个安装板，所述安装板的一侧固定连接有卡柱，所述连接板另一侧的前后两侧均开设有连接槽，所述连接槽的内部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的外表面套设有第二弹簧。

作为本发明的一种优选技术方案：所述伸缩杆的一端固定连接有连接杆，所述连接杆的一侧固定连接有与卡柱相适配的卡件，每两个卡件卡住一个卡柱。