[发明专利]测试元件组在审
申请号: | 202011079419.2 | 申请日: | 2020-10-10 |
公开(公告)号: | CN112201186A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 吴瑞习 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G09G3/00 | 分类号: | G09G3/00;G09G3/36;G01R31/26;G01R1/073;G01R1/18;G01R1/04;H05F3/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何志军 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 元件 | ||
本申请公开了一种测试元件组。测试元件组用于对一阵列基板进行电性测试,测试元件组包括:一测试治具,测试治具包括多组探针组,每一组探针组用于与一阵列基板上多个间隔设置的测试端子电性接触;静电消除装置,每一静电消除装置设置于相邻两测试端子之间,用以消除探针组上的静电。
技术领域
本申请涉及阵列基板检测技术领域,尤其涉及一种测试元件组。
背景技术
阵列测试器(Array Tester,ATS)是TFT-LCD在Array制程完成后,对产品综合性能检测的一种设备,其测试方法是模拟TFT-LCD的工作原理,通过短路棒(Shorting bar)的方式,在阵列测试端子(Array Test Pad)一侧,利用设备自身的测试治具,给TFT基板的有效显示区域(Active Area,AA区域)进行加电测试。
实际生产中,阵列基板栅极驱动(Gate On Array,GOA)型TFT-LCD产品,在短路棒测试(Shorting bar testing)工序时,各金属线路交叉(Cross)的位置易发生线路烧伤如图1中A所示,导致不同层别的金属线路短路(Short),造成产品品质异常,如图1所示的,图1为现有技术中金属走线发生短路烧伤的示意图,其中所述金属走线包括栅极测试信号线、源极测试信号线及漏极测试信号线,所述金属走线分别用于各个所述测试端子与所述阵列基板的多个薄膜晶体管的栅极、源极及漏极之间的连接,以方便利用所述测试端子对所述薄膜晶体管进行测试。
请参阅图2,图2为现有技术中利用测试治具对TFT基板的测试端子进行电性测试的示意图;如图2所示的,通常由于设备自身的测试治具100如扎针Head(扎针头)上的多个探针(pin)101上有静电残留,所述探针101与所述测试端子(Array test pad)200接触时,静电通过所述探针101与所述测试端子200的接触进而进入所述TFT基板内部,可能导致所述TFT基板的绝缘层被烧伤,如图1中所示的现象。
因此,为了实现在测试治具的探针与TFT基板的测试端子接触前消除所述探针上的静电,现需提供一种测试元件组。
发明内容
本申请实施例提供一种测试元件组,该测试元件组用于对一阵列基板的各个测试端子进行电性测试,该测试元件组包括静电消除装置、测试治具及测试机台,通过在两相邻所述测试端子之间设置静电消除装置,在一测试治具上设置多组探针组,利用测试机台与探针组电连接以获取探针组的电信号,在依次检测各个测试端子的电信号过程中,利用静电消除装置消除探针组上的静电,从而有效降低和消除阵列基板的线路烧伤异常等现象。
本申请实施例提供一种测试元件组,用于对一阵列基板进行电性测试,所述测试元件组包括:一测试治具,所述测试治具包括多组探针组,每一组所述探针组用于与一所述阵列基板上多个间隔设置的测试端子电性接触;测试机台,与所述探针组电连接并用于获取所述探针组上的电信号;静电消除装置,每一所述静电消除装置设置于相邻两所述测试端子之间,用以消除所述探针组上的静电。
在一些实施例中,所述测试元件组还包括测试机台,所述测试机台与所述多组探针电连接,用于获取所述探侦组上的电信号。
在一些实施例中,每一所述探针组包括间隔设置的一第一探针和一第二探针,每一所述探针组的所述第一探针、所述第二探针分别用于与一所述测试端子的两端相接触。
在一些实施例中,所述测试元件组还包括测试机台,所述测试机台与每一所述第一探针电连接并用于获取所述第一探针上的电信号,并且所述测试机台与每一所述第二探针电连接并用于获取所述第二探针上的电信号。
在一些实施例中,所述测试机台包括一电讯号实时监测仪,所述电讯号实时监测仪用于实时监测所述第一探针、所述第二探针的电信号的大小。
在一些实施例中,所述电讯号实时侦测仪包括多个侦测端,所述第一探针、所述第二探针分别通过数据信号线与所述侦测端电连接。
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