[发明专利]阵列基板及其制备方法

说明书

本发明提供一种阵列基板及其制备方法，阵列基板包括基板、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层、层间介质层、感光层以及遮挡层，有源层设置于基板上，有源层包括半导体部和第一掺杂部，第一掺杂部设置于半导体部的两侧，第一栅极绝缘层覆盖基板以及有源层，栅极层设置于第一栅极绝缘层上，栅极层位于半导体部之上，层间介质层覆盖第一栅极绝缘层以及栅极层，层间介质层包括第一通孔，第一通孔贯穿第一栅极绝缘层以及层间介质层以暴露第一掺杂部，感光层设置于第一通孔以及层间介质层上，遮挡层设置于感光层上。通过将感光层设置在有源层的第一掺杂部上，降低了生产成本，并提高了阵列基板的良率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种阵列基板及其制备方法。

背景技术

指纹识别技术已广泛应用于中小尺寸的面板中，其中主要有电容式、超声波式和光学式等几种方式。相比于电容式和超声波式指纹识别技术，光学指纹识别具有稳定性好、抗静电能力强以及穿透能力好等。目前，通常将感光传感器集成到屏幕内部实现全屏指纹识别可以大大提高用户体验，但是集成的阵列基板工艺将变得复杂化，使得制备成本升高以及产品良率降低。

发明内容

本发明提供一种阵列基板及其制备方法，以降低阵列基板制备成本以及提高阵列基板的良率。

本发明提供一种阵列基板，包括：

基板；

有源层，所述有源层设置于所述基板上，所述有源层包括半导体部和第一掺杂部，所述第一掺杂部设置于所述半导体部的两侧；

第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层覆盖所述基板以及所述有源层；

栅极层，所述栅极层设置于所述第一栅极绝缘层上，所述栅极层位于所述半导体部之上；

层间介质层，所述层间介质层覆盖所述第一栅极绝缘层以及所述栅极层，所述层间介质层包括第一通孔，所述第一通孔贯穿所述第一栅极绝缘层以及所述层间介质层以暴露所述第一掺杂部；

感光层，所述感光层设置于所述第一通孔以及所述层间介质层上；以及

遮挡层，所述遮挡层设置于所述感光层上。

在本发明所提供的阵列基板中，所述阵列基板还包括掺杂层，所述掺杂层设置于所述感光层上，所述遮挡层设置于所述掺杂层上。

在本发明所提供的阵列基板中，所述遮挡层为第二栅极绝缘层，所述遮挡层包括第二通孔，所述第二通孔贯穿所述遮挡层以暴露所述感光层。

在本发明所提供的阵列基板中，所述遮挡层为氧化铟锡层。

在本发明所提供的阵列基板中，所述阵列基板还包括平坦层，所述平坦层覆盖所述层间介质层、所述感光层以及所述遮挡层，所述平坦层包括第三通孔，所述第三通孔贯穿所述平坦层以暴露所述遮挡层。

在本发明所提供的阵列基板中，所述阵列基板还包括第一钝化层，所述第一钝化层覆盖所述遮挡层以及所述平坦层，所述第一钝化层包括第四通孔，所述第四通孔贯穿所述第一钝化层以及所述遮挡层以暴露所述感光层。

在本发明所提供的阵列基板中，所述阵列基板还包括公共电极层，所述公共电极层设置于所述第一钝化层上，并通过所述第四通孔与所述感光层电连接。

本发明还提供一种阵列基板的制备方法，包括：

提供一基板；

所述基板上设置有源层，所述有源层包括半导体部和第一掺杂部，所述第一掺杂部设置于所述半导体部的两侧；

在所述基板以及所述有源层上设置第一栅极绝缘层；

栅极层，所述栅极层设置于所述第一栅极绝缘层上，所述栅极层位于所述半导体部之上；