[发明专利]一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置

权利要求书

1.一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，包括底柜(1)和检测组件(2)，其特征在于：所述底柜(1)左端安装有存料台(3)，且存料台(3)表面开设有储物槽(4)，所述存料台(3)的右侧表面安装有红外接收器(5)，所述底柜(1)的表面开设有滑槽(6)，且滑槽(6)内部安装有液压推杆(7)，所述液压推杆(7)一端连接有上料架(8)，且上料架(8)内部安装有电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)底部安装有连接块(10)，且连接块(10)外部安装有电磁阀门(11)，所述电磁阀门(11)左侧连接有导管(12)，所述连接块(10)右侧安装有红外发射器(13)，且连接块(10)底部安装有吸盘(14)，所述底柜(1)中部安装有传输带(15)，且传输带(15)表面开设有凹槽(16)，所述凹槽(16)内壁开设有卡槽(17)，且卡槽(17)内部连接有卡块(18)，所述卡块(18)另一端连接有托盘(19)，且托盘(19)表面连接有无痕胶(20)，所述底柜(1)顶部安装有支架(21)，且支架(21)顶部固定有横梁(22)，所述检测组件(2)固定于横梁(22)底部，且检测组件(2)内部安装有液压杆(23)，所述液压杆(23)底部连接有安装板(24)，且安装板(24)底部安装有液晶检测板(25)，所述底柜(1)右端安装有下料架(26)，且下料架(26)下方设置有下料台(27)，且下料台(27)表面开设有收纳槽(28)，所述收纳槽(28)内部安装有储纳管(29)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述存料台(3)与底柜(1)之间处于同一水平线，且存料台(3)与底柜(1)之间呈一体化结构，而且储物槽(4)关于存料台(3)的中轴线呈上下对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述上料架(8)通过液压推杆(7)、滑槽(6)与底柜(1)之间构成滑动结构，且上料架(8)与底柜(1)之间呈平行状分布，而且上料架(8)与液压推杆(7)之间呈固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述连接块(10)通过电动伸缩杆(9)与上料架(8)之间构成升降结构，且连接块(10)的竖直中心线与电动伸缩杆(9)、上料架(8)的竖直中心线相重合。

5.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述吸盘(14)通过连接块(10)、电磁阀门(11)与导管(12)之间构成连通状结构，且导管(12)呈柔性结构，而且导管(12)与连接块(10)之间呈密封连接。

6.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述凹槽(16)关于传输带(15)表面呈等距离均匀分布，且凹槽(16)呈圆形状。

7.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述托盘(19)通过卡块(18)、卡槽(17)与凹槽(16)之间构成卡合结构，且托盘(19)的内口尺寸与凹槽(16)的外口尺寸相重合，而且托盘(19)与凹槽(16)处于同一水平线，并且无痕胶(20)与托盘(19)之间呈粘接。

8.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述检测组件(2)通过横梁(22)、支架(21)与底柜(1)之间构成固定结构，且检测组件(2)关于横梁(22)的中轴线呈上下对称分布。

9.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述液晶检测板(25)与安装板(24)之间呈固定连接，且液晶检测板(25)表面呈光滑状，而且液晶检测板(25)的外口尺寸小于安装板(24)的内口尺寸。

10.根据权利要求1所述的一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，其特征在于：所述储纳管(29)通过收纳槽(28)与下料台(27)之间构成固定结构，且储纳管(29)的外口尺寸与收纳槽(28)的内口尺寸相吻合。