[发明专利]一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置

说明书

本发明公开了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，涉及碳化硅晶圆检测技术领域，具体为包括底柜和检测组件，所述底柜左端安装有存料台，且存料台表面开设有储物槽，所述存料台的右侧表面安装有红外接收器，所述底柜的表面开设有滑槽，且滑槽内部安装有液压推杆，所述液压推杆一端连接有上料架，且上料架内部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部安装有连接块。该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过上料架、传输带与凹槽之间的相互配合设置，使得上料架底部的吸盘能够将碳化硅晶圆放置于凹槽中，配合凹槽内部的无痕胶，能够将碳化硅晶圆粘在凹槽中，从而实现对碳化硅晶圆的定位固定，避免在检测的过程中碳化硅晶圆晃动，造成测量误差。

技术领域

本发明涉及碳化硅晶圆检测技术领域，具体为一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置。

背景技术

碳化硅晶圆，也称碳化硅单晶片，是沿特定的结晶方向将碳化硅晶体切割、研磨、抛光得到片状单晶材料，碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。

现有的碳化硅晶圆的红外检测装置在接受检测时，无法同时对碳化硅晶圆外部尺寸与表面平整度进行检测工作，且在上料时，需要对人工辅助，而人工上料会使得碳化硅晶圆表面受到污染影响检测的数据的准确性，针对上述情况，我们推出了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，解决了上述背景技术中提出现有的碳化硅晶圆的红外检测装置在接受检测时，无法同时对碳化硅晶圆外部尺寸与表面平整度进行检测工作，且在上料时，需要对人工辅助，而人工上料会使得碳化硅晶圆表面受到污染影响检测的数据的准确性的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，包括底柜和检测组件，其特征在于：所述底柜左端安装有存料台，且存料台表面开设有储物槽，所述存料台的右侧表面安装有红外接收器，所述底柜的表面开设有滑槽，且滑槽内部安装有液压推杆，所述液压推杆一端连接有上料架，且上料架内部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部安装有连接块，且连接块外部安装有电磁阀门，所述电磁阀门左侧连接有导管，所述连接块右侧安装有红外发射器，且连接块底部安装有吸盘，所述底柜中部安装有传输带，且传输带表面开设有凹槽，所述凹槽内壁开设有卡槽，且卡槽内部连接有卡块，所述卡块另一端连接有托盘，且托盘表面连接有无痕胶，所述底柜顶部安装有支架，且支架顶部固定有横梁，所述检测组件固定于横梁底部，且检测组件内部安装有液压杆，所述液压杆底部连接有安装板，且安装板底部安装有液晶检测板，所述底柜右端安装有下料架，且下料架下方设置有下料台，且下料台表面开设有收纳槽，所述收纳槽内部安装有储纳管。

可选的，所述存料台与底柜之间处于同一水平线，且存料台与底柜之间呈一体化结构，而且储物槽关于存料台的中轴线呈上下对称分布。

可选的，所述上料架通过液压推杆、滑槽与底柜之间构成滑动结构，且上料架与底柜之间呈平行状分布，而且上料架与液压推杆之间呈固定连接。

可选的，所述连接块通过电动伸缩杆与上料架之间构成升降结构，且连接块的竖直中心线与电动伸缩杆、上料架的竖直中心线相重合。

可选的，所述吸盘通过连接块、电磁阀门与导管之间构成连通状结构，且导管呈柔性结构，而且导管与连接块之间呈密封连接。

可选的，所述凹槽关于传输带表面呈等距离均匀分布，且凹槽呈圆形状。

可选的，所述托盘通过卡块、卡槽与凹槽之间构成卡合结构，且托盘的内口尺寸与凹槽的外口尺寸相重合，而且托盘与凹槽处于同一水平线，并且无痕胶与托盘之间呈粘接。