[发明专利]烧结压机和用于通过烧结压机产生烧结连接的压力烧结方法在审
申请号: | 202011101129.3 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN112701061A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | D·伯基赫特;T·弗兰兹;J·海因里希;S·卡夫;R·路德维希;E·迈克尔森;J·魏克曼 | 申请(专利权)人: | 赛米控电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/58;H01L21/50 |
代理公司: | 重庆西联律师事务所 50250 | 代理人: | 唐超尘;刘贻行 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 用于 通过 产生 连接 压力 方法 | ||
1.一种烧结压机,所述烧结压机用于在第一连接配对件(5)和设置在其上方的第二连接配对件(6)之间形成烧结连接,所述烧结压机具有用于固定第一连接配对件(5)的抽吸固定装置(3),具有设置在抽吸固定装置(3)上方的压紧件(10),其特征在于,用于产生烧结连接的烧结压机构造成,当第一连接配对件(5)和第二连接配对件(6)设置在压紧件(10)和抽吸固定装置(3)之间时,使压紧件(10)和抽吸固定装置(3)相对于彼此会聚,并且因此用于相互地压紧第一连接配对件(5)和第二连接配对件(6),其中抽吸固定装置(3)在其面对压紧件(10)的侧面(3a)上具有第一抽吸开口(9),其中当第一连接配对件(5)设置于第一抽吸开口(9)上方时,通过在第一抽吸开口(9)处产生负压,所述抽吸固定装置(3)构造成用于抽吸第一连接配对件(5)并且因此用于相对于抽吸固定装置(3)来固定第一连接配对件(5)。
2.根据权利要求1所述的烧结压机,其特征在于,抽吸固定装置(3)设置在烧结压机(1)的压紧配对件(11)上,或者为烧结压机(1)的压紧配对件(11)的一体组成部分。
3.根据权利要求1或2所述的烧结压机,其特征在于,第一抽吸开口(9)的相应的横截面积为0.007mm2至3.2mm2。
4.根据权利要求1或2所述的烧结压机,其特征在于,第一抽吸开口(9)的相应的横截面积为0.03mm2至1.8mm2。
5.根据权利要求1或2所述的烧结压机,其特征在于,抽吸固定装置(3)的面对压紧件(10)的侧面(3a)具有固定区域(14),其中第一抽吸开口(9)设置在固定区域(14)内,其中至少一些第一抽吸开口(9)设置在固定区域(14)的周边区域(14c)中或设置在固定区域(14)的中央区域中。
6.根据权利要求5所述的烧结压机,其特征在于,所述固定区域(14)是矩形。
7.根据权利要求5所述的烧结压机,其特征在于,抽吸固定装置(3)的面对压紧件(10)的侧面(3a)具有矩形的固定区域(14),其中与固定区域(14)的其他区域相比,固定区域(14)的角部区域(14b)中的第一抽吸开口(9)的数量增加。
8.根据权利要求1或2所述的烧结压机,其特征在于,烧结压机(1)具有抽吸夹持器(22),抽吸夹持器(22)通过在其抽吸开口(24)处产生负压而构造成用于将第一连接配对件(5)直接或间接地牢固地保持在所述抽吸夹持器(22)上,并且在压制过程之前用于将第一连接配对件(5)与设置在第一连接配对件(5)上方的第二连接配对件(6)一起设置在压紧件(10)和抽吸固定装置(3)之间的空间中,和/或在压制过程之后用于将第一连接配对件(5)与第二连接配对件(6)再次一起从所述空间移除。
9.根据权利要求1或2所述的烧结压机,其特征在于,用于产生烧结连接的烧结压机(1)构造成,当将第一连接配对件(5)和第二连接配对件(6)设置在压紧件(10)和抽吸固定装置(3)之间并且将第一连接配对件(5)直接设置在抽吸固定装置(3)上时,用于使压紧件(10)和抽吸固定装置(3)相对于彼此会聚,并且因此用于相互地压紧第一连接配对件(5)和第二连接配对件(6),其中抽吸固定装置(3)在其面对压紧件(10)的侧面(3a)上具有第一抽吸开口(9),其中当第一连接配对件(5)设置在第一抽吸开口(9)上方以便直接位于抽吸固定装置(3)上时,通过在第一抽吸开口(9)处产生负压,抽吸固定装置(3)构造成用于抽吸第一连接配对件(5),并且因此用于将第一连接配对件(5)相对于抽吸固定装置(3)固定。
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