[发明专利]立式晶舟位置的检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种立式晶舟位置的检测系统，其特征在于，包括设置在立式晶舟顶部的至少三个挡板、反射板、激光发射器、光电传感器、信号处理器；

所述反射板用于反射激光；

所述信号处理器与所述光电传感器连接，所述信号处理器用于接收所述光电传感器发送的信号；

所有挡板设置在立式晶舟的顶部，每个挡板上开设有1个透光孔，所有挡板上的透光孔确定的平面与所述立式晶舟的顶部平行，其中，所述每个挡板上的透光孔距离晶舟顶部的高度相同，且挡板上的透光孔确定一个平面；

当所述立式晶舟位于传输装置上的预定晶舟位置且所述激光发射器发射激光时，第一组挡板上的透光孔位于所述激光的入射光路上，所述激光被所述反射板反射，第二组挡板上的透光孔和所述光电传感器位于所述激光的反射光路上；

其中，激光的入射光路和反射光路不重合。

2.根据权利要求1所述的立式晶舟位置的检测系统，其特征在于，所述激光发射器、所述光电传感器、所述反射板位于所述立式晶舟顶部的外侧。

3.根据权利要求1所述的立式晶舟位置的检测系统，其特征在于，所述挡板垂直设置在所述立式晶舟的顶部。

4.根据权利要求1所述的立式晶舟位置的检测系统，其特征在于，所述挡板的数量为3。

5.一种立式晶舟位置的检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至4任一所述的立式晶舟位置的检测系统中，所述方法包括：

调试立式晶舟位置的检测系统，令所述立式晶舟位置的检测系统与传输装置上的预定晶舟位置匹配；

开启激光发射器，所述激光发射器发射激光；

通过信号处理器检测光电传感器是否发送电信号；

若检测到所述光电传感器发送电信号，则确定立式晶舟位置未发生偏移；

若未检测到所述光电传感器发送电信号，则确定立式晶舟位置发生偏移。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述调试立式晶舟位置的检测系统，令所述立式晶舟位置的检测系统与传输装置上的预定晶舟位置匹配，包括：

在立式晶舟顶部设置至少三个挡板，每个挡板上开设有一个透光孔，所有挡板上的透光孔确定的平面与所述立式晶舟的顶部平行；

将所述立式晶舟安装在传输装置上的预定晶舟位置；

在所述立式晶舟顶部的一侧设置激光发射器和光电传感器，在所述立式晶舟顶部的另一侧设置反射板，将所述光电传感器与信号处理器连接；

调整所述激光发射器、所述反射板、所述光电传感器的位置，令所述激光发射器发射激光时，所述激光穿过第一组挡板上的透光孔，并到达反射板，所述激光经所述反射板反射后穿过第二组挡板上的透光孔，并被所述光电传感器接收；

固定所述激光发射器、所述反射板、所述光电传感器的位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述在立式晶舟顶部设置至少三个挡板，包括：

在所述立式晶舟顶部垂直设置至少三个挡板。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述光电传感器与所述信号处理器无线连接或有线连接。