[发明专利]贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备有效

专利信息
申请号: 202011107786.9 申请日: 2020-10-16
公开(公告)号: CN112259473B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 孙成思;孙日欣;朱茂林 申请(专利权)人: 深圳佰维存储科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/78;B26D1/00
代理公司: 深圳市博锐专利事务所 44275 代理人: 林栋
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道平山社区留仙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: daf 小基板 生成 方法 装置 存储 介质 电子设备
【说明书】:

发明公开了一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备,该贴附DAF的小基板生成方法包括:将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;使用软刀刀片从待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,其中,软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。本发明将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面之后,采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成的软刀刀片进行切割,可有效减少拉丝问题的出现,同时无需如现有技术一样需要两次切割,降低了工艺复杂程度,节约人力成本和基板成本,从而节约制造成本。

技术领域

本发明涉及存储芯片制造技术领域,特别涉及一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备。

背景技术

DAF(Die Attach Film)为芯片黏结薄膜,用途是在镭射切割时,芯片可一起切割与分离,进行剥离(扩膜),使切割完后的芯片,都还可黏着在薄膜上,不会因切割而造成散乱排列。

在现有生产工艺中,如图2所示,晶圆6通过DAF贴附于大基板7上,通过DAF的粘性与大基板7结合为一体,并执行后续的走线。因为客户需求不同,因此wafer PAD(晶圆6引脚)位置各不相同,需要小基板进行桥接8,以达到将好几款不同型号的wafer(晶圆6)做在一款大基板7上,使一款大基板7实现不同晶圆6都适用的作用。

现有技术对封装基板(该封装基板上设计有多个独立的小基板)切割得到小基板,将小基板贴附在DAF上再对DAF进行切割,再将该具有DAF的小基板贴附在大基板7上。在生产过程中,先切割成小基板再贴附在DAF上,进行切割后贴附在大基板7上,工艺复杂繁琐,耗时费力,若直接将封装基板贴附在DAF上进行切割则出现拉丝问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是:提供一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备,能降低工艺复杂程度且减少拉丝问题的出现。

为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:

一种贴附DAF的小基板生成方法,包括步骤:

将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;

使用软刀刀片从所述待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,所述软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。

为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:

一种贴附DAF的小基板生成装置,包括:

贴附模块,将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;

切割模块,使用软刀刀片从所述待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,所述软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。

为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:

一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序存储有上述所示的贴附DAF的小基板生成方法。

为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:

一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现上述所示的贴附DAF的小基板生成方法。

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