[发明专利]贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备有效
申请号: | 202011107786.9 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN112259473B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 孙成思;孙日欣;朱茂林 | 申请(专利权)人: | 深圳佰维存储科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78;B26D1/00 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 林栋 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道平山社区留仙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | daf 小基板 生成 方法 装置 存储 介质 电子设备 | ||
本发明公开了一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备,该贴附DAF的小基板生成方法包括:将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;使用软刀刀片从待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,其中,软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。本发明将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面之后,采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成的软刀刀片进行切割,可有效减少拉丝问题的出现,同时无需如现有技术一样需要两次切割,降低了工艺复杂程度,节约人力成本和基板成本,从而节约制造成本。
技术领域
本发明涉及存储芯片制造技术领域,特别涉及一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备。
背景技术
DAF(Die Attach Film)为芯片黏结薄膜,用途是在镭射切割时,芯片可一起切割与分离,进行剥离(扩膜),使切割完后的芯片,都还可黏着在薄膜上,不会因切割而造成散乱排列。
在现有生产工艺中,如图2所示,晶圆6通过DAF贴附于大基板7上,通过DAF的粘性与大基板7结合为一体,并执行后续的走线。因为客户需求不同,因此wafer PAD(晶圆6引脚)位置各不相同,需要小基板进行桥接8,以达到将好几款不同型号的wafer(晶圆6)做在一款大基板7上,使一款大基板7实现不同晶圆6都适用的作用。
现有技术对封装基板(该封装基板上设计有多个独立的小基板)切割得到小基板,将小基板贴附在DAF上再对DAF进行切割,再将该具有DAF的小基板贴附在大基板7上。在生产过程中,先切割成小基板再贴附在DAF上,进行切割后贴附在大基板7上,工艺复杂繁琐,耗时费力,若直接将封装基板贴附在DAF上进行切割则出现拉丝问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种贴附DAF的小基板生成方法、装置、存储介质及电子设备,能降低工艺复杂程度且减少拉丝问题的出现。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种贴附DAF的小基板生成方法,包括步骤:
将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;
使用软刀刀片从所述待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,所述软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。
为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:
一种贴附DAF的小基板生成装置,包括:
贴附模块,将DAF贴附于初始封装基板上未布设线路的反面,得到待切割封装基板;
切割模块,使用软刀刀片从所述待切割封装基板的正面进行切割,得到贴附DAF的小基板,所述软刀刀片采用颗粒大小为800至1200之间和颗粒密度为40至60之间的人造金刚石制成。
为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:
一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序存储有上述所示的贴附DAF的小基板生成方法。
为了解决上述技术问题,本发明采用的另一种技术方案为:
一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现上述所示的贴附DAF的小基板生成方法。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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