[发明专利]一种芯片吸收谱的测量方法、装置、设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202011108819.1 申请日: 2020-10-16
公开(公告)号: CN112229518A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 曾笔鉴;熊永华;万枫;余洁;陈玲玲;李开轩 申请(专利权)人: 武汉电信器件有限公司
主分类号: G01J3/42 分类号: G01J3/42
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 高天华;张颖玲
地址: 430074 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 吸收 测量方法 装置 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种芯片吸收谱的测量方法,其特征在于,所述芯片包括发射光器件和吸收光器件;其中,所述发射光器件用于向所述吸收光器件发射光信号;所述方法包括:

控制所述发射光器件向所述吸收光器件发射光信号;

控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线;

基于所述吸收光器件的光吸收谱线,确定所述芯片的光吸收谱线。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线,包括:

控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号;

控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号;

控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到所述吸收光器件的光吸收谱线。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,包括:

控制所述吸收光器件在至少一种工作电压下;

基于所述至少一种工作电压,控制所述吸收光器件吸收至少一种强度的光信号。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件在至少一种工作电压下,包括:

控制所述吸收光器件工作在至少一种反向电压下;

或者,控制所述吸收光器件的工作电压为零。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到所述吸收光器件的光吸收谱线,包括:

当所述吸收光器件的工作电压为零时,控制所述谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到第一光吸收谱线;

当所述吸收光器件的工作在至少一种反向电压时,控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到至少一种第二光吸收谱线。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述基于所述吸收光器件的光吸收谱线,确定所述芯片的光吸收谱线,包括:

基于所述第一光吸收谱线和所述至少一种第二光吸收谱线,确定所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述基于所述第一光吸收谱线和所述至少一种第二光吸收谱线,确定所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线,包括:

所述第一光吸收谱线与所述至少一种第二光吸收谱线相减,得到所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线。

8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

基于所述至少一种第二光吸收谱线,确定出具备最大吸收度的第二光吸收谱线;

基于所述最大吸收度的第二光吸收谱线,确定对应的所述吸收光器件的最大反向工作电压;

将所述最大反向工作电压作为所述吸收光器件的饱和电压。

9.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号,包括:

控制透镜对所述吸收光器件吸收的光信号进行光信号耦合,并通过光纤将所述透镜耦合到的光信号传输到所述谱线分析装置。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号之前,所述方法还包括:

设置所述谱线分析装置的工作参数;其中,所述工作参数至少包括以下一种:点平均模式、扫描平均模式及预设的滤波带宽。

11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,

所述透镜为非球面透镜,且所述非球面透镜放置在靠近所述吸收光器件的端面的位置。

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