[发明专利]一种芯片吸收谱的测量方法、装置、设备及存储介质在审
申请号: | 202011108819.1 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN112229518A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 曾笔鉴;熊永华;万枫;余洁;陈玲玲;李开轩 | 申请(专利权)人: | 武汉电信器件有限公司 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 高天华;张颖玲 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 吸收 测量方法 装置 设备 存储 介质 | ||
1.一种芯片吸收谱的测量方法,其特征在于,所述芯片包括发射光器件和吸收光器件;其中,所述发射光器件用于向所述吸收光器件发射光信号;所述方法包括:
控制所述发射光器件向所述吸收光器件发射光信号;
控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线;
基于所述吸收光器件的光吸收谱线,确定所述芯片的光吸收谱线。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线,包括:
控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号;
控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号;
控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到所述吸收光器件的光吸收谱线。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,包括:
控制所述吸收光器件在至少一种工作电压下;
基于所述至少一种工作电压,控制所述吸收光器件吸收至少一种强度的光信号。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述控制所述吸收光器件在至少一种工作电压下,包括:
控制所述吸收光器件工作在至少一种反向电压下;
或者,控制所述吸收光器件的工作电压为零。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到所述吸收光器件的光吸收谱线,包括:
当所述吸收光器件的工作电压为零时,控制所述谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到第一光吸收谱线;
当所述吸收光器件的工作在至少一种反向电压时,控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到至少一种第二光吸收谱线。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述基于所述吸收光器件的光吸收谱线,确定所述芯片的光吸收谱线,包括:
基于所述第一光吸收谱线和所述至少一种第二光吸收谱线,确定所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述基于所述第一光吸收谱线和所述至少一种第二光吸收谱线,确定所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线,包括:
所述第一光吸收谱线与所述至少一种第二光吸收谱线相减,得到所述芯片工作在所述至少一种反向电压下的光吸收谱线。
8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
基于所述至少一种第二光吸收谱线,确定出具备最大吸收度的第二光吸收谱线;
基于所述最大吸收度的第二光吸收谱线,确定对应的所述吸收光器件的最大反向工作电压;
将所述最大反向工作电压作为所述吸收光器件的饱和电压。
9.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号,包括:
控制透镜对所述吸收光器件吸收的光信号进行光信号耦合,并通过光纤将所述透镜耦合到的光信号传输到所述谱线分析装置。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号之前,所述方法还包括:
设置所述谱线分析装置的工作参数;其中,所述工作参数至少包括以下一种:点平均模式、扫描平均模式及预设的滤波带宽。
11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,
所述透镜为非球面透镜,且所述非球面透镜放置在靠近所述吸收光器件的端面的位置。
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