[发明专利]一种芯片吸收谱的测量方法、装置、设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202011108819.1 申请日: 2020-10-16
公开(公告)号: CN112229518A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 曾笔鉴;熊永华;万枫;余洁;陈玲玲;李开轩 申请(专利权)人: 武汉电信器件有限公司
主分类号: G01J3/42 分类号: G01J3/42
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 高天华;张颖玲
地址: 430074 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 吸收 测量方法 装置 设备 存储 介质
【说明书】:

本申请公开一种芯片吸收谱的测量方法、装置、设备及存储介质,芯片包括发射光器件和吸收光器件;其中,发射光器件用于向吸收光器件发射光信号;该方法包括:控制发射光器件向吸收光器件发射光信号;控制吸收光器件吸收发射光信号,并采集吸收光器件的光吸收谱线;基于吸收光器件的光吸收谱线,确定芯片的光吸收谱线。如此,通过芯片的发射光器件可以直接向吸收光器件发射光信号,去采集吸收光器件的光吸收谱线。由于芯片的光吸收能力主要取决于吸收光器件的光吸收能力,因此,根据吸收光器件的光吸收谱线,可确定芯片的光吸收谱线。

技术领域

本申请涉及吸收谱测量技术,尤其涉及一种芯片吸收谱的测量方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

电吸收调制激光器(Electrobsorption Modulated Distributed FeedbackLaser,EML)由于成本低、功耗低以及容易与其他光电子器件(例如光电探测器、半导体光放大器、耦合器)集成等优点,因此被广泛应用于光通信网络中。目前,10-Gb/s EML芯片作为发射光源被广泛用于中距离(40km)和长距离(80km)的光通信网络中,40-Gb/s的EML芯片也被用于短距离(2km)的光通信网络中。除此之外,4通道25-Gb/s的EML芯片阵列也已经被用于100-Gb/s的以太网系统。

EML芯片为电吸收调制器(Electro Absorption Modulator,EAM)与分布式反馈激光器(Distributed Feedback Laser,DFB-LD)的集成器件。由于EML芯片在工作状态下,DFB-LD是作为连续发射激光信号工作的,因此对其要求并不高,真正影响EML芯片工作特性的是EAM。所以说,对EAM吸收谱的测量对EML芯片的分析研究起着至关重要的作用。

目前对EML芯片吸收谱的测量方法有两种方法,具体如下:

第一种方法是:对EML芯片进行解理操作后将EAM单独取出,利用探针对EAM加负电压使其工作在反偏状态,利用工作在恒定功率模式下的可调谐激光器对EAM原出光端面发射光信号使光信号第一次耦合进EAM内部;再利用探测器对EAM解理端面发射光信号,使光信号第二次耦合进EAM内部,基于EAM对光信号的两次耦合,从而得出EML芯片吸收谱。

第二种方法是:对EML芯片进行解理操作后将EAM单独取出,利用探针对EAM加负电压使其工作在反偏状态,利用工作在恒定功率模式下的可调谐激光器对EAM原出光端面发射激光,使激光耦合进EAM内部,且在可调谐激光器扫描的同时,检测流过EAM上的光电流,从而推算EML芯片的吸收谱。

上述两种方法在检测过程中均需要对EML芯片进行解理且均需要可调谐激光器。虽然EAM为吸收器件,但EML芯片是不属于吸收类型的芯片,因此EAM端面的有源区面积很小,想要将可调谐激光器发射的激光耦合到EAM内部存在一定的难度。

发明内容

为解决上述技术问题,本申请期望提供一种芯片吸收谱的测量方法及系统。

本申请的技术方案是这样实现的:

第一方面,提供了一种芯片吸收谱的测量方法,所述芯片包括发射光器件和吸收光器件;其中,所述发射光器件用于向所述吸收光器件发射光信号;该方法包括:

控制所述发射光器件向所述吸收光器件发射光信号;

控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线;

基于所述吸收光器件的光吸收谱线,确定所述芯片的光吸收谱线。

上述方案中,所述控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号,并采集所述吸收光器件的光吸收谱线,包括:控制所述吸收光器件吸收所述发射光信号;控制谱线分析装置采集所述吸收光器件吸收的光信号;控制谱线分析装置对采集到的光信号进行谱线分析,得到所述吸收光器件的光吸收谱线。

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