[发明专利]气体放电光源中的气体混合物控制

权利要求书

1.一种操作气体放电光源的方法，所述气体放电光源包括气体放电系统，所述气体放电系统包括一个或多个气体放电室，每个气体放电室容纳能量源，所述方法包括：

利用相应的气体混合物填充所述气体放电系统中的所述气体放电室中的每个气体放电室；

对于每个气体放电室，通过激活其能量源来将脉冲能量供应给所述相应的气体混合物，以由此从所述气体放电室产生脉冲放大的光束；

监测所述气体放电光源的一个或多个操作特性；

确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否将在未来时间超出可接受的范围；以及

如果确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性将在所述未来时间超出可接受的范围，则选择恢复气体维护方案，并且通过增加所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物中的组分气体的相对量，来将所选择的所述恢复气体维护方案应用于所述气体放电系统。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述组分气体包括缓冲气体。

3.根据权利要求1所述的方法，其中增加所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物中的所述组分气体的相对量包括：将恢复气体注入方案应用于所述至少一个气体放电室。

4.根据权利要求3所述的方法，其中应用所述恢复注入方案包括以下中的一项或多项：

增加所述组分气体的注入被执行的时间频率，以及

与在确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性将超出可接受的范围之前所泵送的情况相比，将更多的组分气体泵送到所述至少一个气体放电室的所述气体混合物中。

5.根据权利要求1所述的方法，其中监测所述气体放电光源的一个或多个操作特性包括监测以下中的一项或多项：

被供应给所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物的脉冲能量；以及

从所述气体放电室中的至少一个气体放电室输出的所述脉冲放大的光束的能量。

6.根据权利要求5所述的方法，其中监测一个或多个操作特性包括测量所述气体放电光源的以下特性中的一种或多种：

被供应给所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物的所述脉冲能量随时间的变化；以及

从所述气体放电室中的至少一个气体放电室输出的所述脉冲放大的光束的所述能量随时间的变化。

7.根据权利要求1所述的方法，其中：

监测所述气体放电光源的一个或多个操作特性包括计算所述操作特性的值，以及

确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否将在未来时间超出所述可接受的范围包括：确定所述操作特性的所计算的所述值中的任何值是否将在未来时间超出所述可接受的范围。

8.根据权利要求7所述的方法，其中计算所述操作特性的值包括计算所述操作特性的平均值。

9.根据权利要求1所述的方法，其中增加所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物中的所述组分气体的相对量包括：将再填充方案应用于所述至少一个气体放电室，所述再填充方案包括：从所述至少一个气体放电室清除所述气体混合物，以及利用包括所述组分气体的新鲜气体混合物填充所述至少一个气体放电室。

10.根据权利要求1所述的方法，其中确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否将在未来时间超出所述可接受的范围包括：确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否可能在未来时间超出所述可接受的范围。

11.根据权利要求1所述的方法，其中确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否将在未来时间超出所述可接受的范围包括：

确定所监测的所述一个或多个操作特性中的每个操作特性的变化率；以及

确定所监测的所述一个或多个操作特性中的每个操作特性的所述变化率是否指示所监测的操作特性可能在所述未来时间超出所述可接受的范围。