[发明专利]一种烧结NdFeB磁体表面Ni-Cr耐蚀合金涂层的制备工艺

权利要求书

1.一种烧结NdFeB磁体表面Ni-Cr耐蚀合金涂层的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1）在烧结NdFeB磁体表面采用等离子刻蚀技术进行表面预处理；

2）在烧结NdFeB磁体表面进行双辉等离子Ni-Cr合金化处理，制备Ni-Cr合金涂层；

3）所制备的Ni-Cr合金涂层使用等离子刻蚀技术进行表面微纳结构的构建；

所述步骤1）等离子刻蚀的参数如下：电压为600 V，电流为1 A，氩气气压为50 Pa，时间为0.5 h；

所述Ni-Cr合金靶材的成分配比：Ni在Ni-Cr合金靶材的原子百分比为80 at.%，Cr在Ni-Cr合金靶材的原子比为20 at.%；

所述双辉等离子Ni-Cr合金化处理的步骤如下：

（b1）将烧结NdFeB磁体和Ni-Cr合金靶材装入双辉等离子表面处理炉中，所用烧结NdFeB磁体作为工件极，所用Ni-Cr合金靶材作为源极；

（b2）抽真空至本底真空度10^-3 Pa，送入氩气；

（b3）启动工件极和源极电源进行Ni-Cr合金化处理，Ni-Cr合金涂层的制备工艺：源极电压为850-950 V；工件极电压为500-600 V；氩气气压为20-50 Pa；源极与工件极间距为15-25 mm；处理时间为3 h；

所述步骤3）等离子刻蚀技术的参数如下：电压为500 V，电流为0.8 A，氩气气压为20Pa，时间为0.5 h。