[发明专利]一种高性能的带通滤光片有效
| 申请号： | 202011114436.5 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112230324B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 苏炎;李昱;陈居凯 | 申请（专利权）人： | 苏州众为光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 性能 滤光 | ||
1.一种高性能的带通滤光片，包括基层和堆叠在基层上的膜系，其特征在于，所述膜系的膜系结构包括若干个法布里-帕罗腔及连接层；所述法布里-帕罗腔包含多个四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层、以及多个非四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层堆叠；
所述法布里-帕罗腔之间采用四分之一波长光学厚度的低折射率层的连接层进行级联，所述膜系的膜系结构为：
HLHLHL2HLHLHLHL
aHbLaHLHLHL2HLHLHLcHdLcHL
HLHLHLHL2HLHLHLHLHL
eHfLeHLHLHL2HLHLHLmHnLmHL
mHnLmHLHLHL2HLHLHLeHfLeHL
HLHLHLHL2HLHLHLHLHL
cHdLcHLHLHL2HLHLHLaHbLaHL
HLHLHL2HLHLHLiAjB
其中，H为四分之一中心波长光学厚度的高折射率层，L为四分之一波长光学厚度的低折射率层；2H为两个四分之一波长光学厚度，A为非四分之一波长光学厚度的高折射率层；a、b、c、d、e、f、m、n、i、j为折射率层的系数,a、b、c、d、e、f、m、n、i、j为非整数；B为非四分之一波长光学厚度的低 折射率层；
所述法布里-帕罗腔之间通过所述连接层级联，所述连接层为四分之一波长光学厚度的低折射率层。
2.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，
所述高折射率层为Ta2O5，高折射率层在1310nm附近的折射率为2.1；
所述低折射率层为SiO2，在1310nm附近的折射率为1.47。
3.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，a、c、e、m、i、j为大于1的非整数，范围为1.067-1.389， b、d、f、n为小于1的非整数，范围为0.207-0.859。
4.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，a为1.360，b为0.264，c为1.389，d为0.207，e为1.311，f为0.357，m为1.204，n为0.569，i为1.129，j为1.298。
5.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，a为1.273，b为0.433，c为1.248，d为0.481，e为1.089，f为0.810，m为1.067，n为0.859，i为1.330，j为1.330。
6.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，所述高性能的带通滤光片在第一波段范围内的插损大于-0.3dB；在第二波段范围内的插损小于-30dB。
7.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，所述膜系的膜系结构中的高折射率层和低折射率层有136层至154层。
8.如权利要求1的高性能的带通滤光片，其特征在于，所述基层为二氧化硅材料，基层的折射率在1310.5-1317nm的范围为1.45至3.5。
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