[发明专利]一种高性能的带通滤光片有效

申请号：	202011114436.5	申请日：	2020-10-15
公开（公告）号：	CN112230324B	公开（公告）日：	2022-08-12
发明（设计）人：	苏炎;李昱;陈居凯	申请（专利权）人：	苏州众为光电有限公司
主分类号：	G02B5/28	分类号：	G02B5/28
代理公司：	北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369	代理人：	孔凡玲
地址：	215000 ***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种性能滤光
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【说明书】：

本发明提供一种高性能的带通滤光片，包括基层和堆叠在基层上的膜系，膜系的膜系结构包括若干个法布里‑帕罗腔及连接层；法布里‑帕罗腔包含多个四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层、以及多个非四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层堆叠；法布里‑帕罗腔之间采用四分之一波长光学厚度的低折射率层进行级联。本发明在一定范围内波长的插损大于‑0.3db,过渡带的陡度即‑0.3db到‑30db的波长与中心波长的比值小于0.2％，入射角度在0度至20度的任意角度内，能够满足高性能需求，相对于光栅以及带通滤光片组合器件的技术方案，在成本上具有明显的优势。使得该方案还可以应用于干涉仪，成像仪器，检测仪器，数据中心，光通讯、工业激光等领域。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，具体涉及一种高性能的带通滤光片。

背景技术

带通滤光片是使得某个特定波长或窄波段的光透过，通带之外的光不能够透过。通常应用于分光等使用方向，带通滤光片通常要求带通滤光片的通带插损或透过率要尽可能的平坦，纹波要小。

在光学系统中插损，表示的一种光能量在透射插入器件后的出射光强与入射光强的比值。插损可以用来表征带通滤光片的性能。常规情况下，带通滤光片的通带内都是要求纹波平坦，由1/4光学厚度的高低折射率介质膜层交替堆叠，构成多级的法布里-帕罗腔级联形成。但是，现有技术中还没有带通滤光片能够实现在一定范围内波长的插损大于-0.3db。因此，本发明需要对传统的带通滤光片进行改进，以提高其性能。

发明内容

针对现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种高性能的带通滤光片。

本发明的技术方案概述如下：

本发明提供一种高性能的带通滤光片，包括基层和堆叠在基层上的膜系，所述膜系的膜系结构包括若干个法布里-帕罗腔及连接层；所述法布里-帕罗腔包含多个四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层、以及多个非四分之一波长光学厚度的高折射率层和低折射率层堆叠；所述法布里-帕罗腔之间采用四分之一波长光学厚度的低折射率层的连接层进行级联。

进一步地，所述膜系的膜系结构为：

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其中，H为四分之一中心波长光学厚度的高折射率层，L为四分之一波长光学厚度的低折射率层；2H为两个四分之一波长光学厚度，A为非四分之一波长光学厚度的高折射率层；a、b、c、d、e、f、m、n、i、j为折射率层的系数,a、b、c、d、e、f、m、n、i、j为非整数；

所述法布里-帕罗腔之间通过所述连接层级联，所述连接层为四分之一波长光学厚度的低折射率层。

进一步地，所述膜系的膜系结构为：