[发明专利]拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置

权利要求书

1.一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，其特征在于：拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量。

2.根据权利要求1所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，其特征在于：通入的压缩空气的压强为0.01MPa～0.02MPa。

3.一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：包括依次连接的压缩空气接头、调压阀和流量控制阀，所述压缩空气接头自由端用于与压缩空气出气管道连接，所述流量控制阀出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

4.根据权利要求3所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：还包括扩散室，所述流量控制阀通过管路与所述扩散室连接，所述扩散室上设有出气管，所述出气管用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

5.根据权利要求3所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：所述流量控制阀为电磁阀。

6.根据权利要求4所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：连接所述流量控制阀和所述扩散室的管路上设有一个手动流量控制阀。

7.根据权利要求4所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：所述扩散室底部设有排污管，所述排污管上连接有排污阀。

8.根据权利要求6所述的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，其特征在于：所述手动流量控制阀为手动球阀。