[发明专利]拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置

说明书

本发明公开了一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，涉及半导体制备技术领域，拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量，本发明还提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，包括依次连接的压缩空气接头、调压阀和流量控制阀，压缩空气接头自由端用于与压缩空气出气管道连接，流量控制阀出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。本发明提供的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生，达到了保护过滤滤材及防治粉尘颗粒外排大气的目的。

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置。

背景技术

在光伏行业生产单晶硅棒的过程中，硅原料和石英坩埚会在高温下生成极容易和氧气发生剧烈反应的一氧化硅(SiO)。现有技术采取的是利用电磁阀控制空气缓慢进入简谐式除尘器内，用控制空气进入量的方式控制SiO和空气的反应(一次氧化)速度，以降低此反应的发热量。

现有的SiO粉尘一次氧化系统采用被动摄入方式，空气通过电磁阀、流量器被动摄入简谐式除尘器内，当简谐式除尘器内气压与外部大气压一致时压差消失，进气停止。受设备本身体积所限，被动摄入的空气量有限，可反应消耗的SiO有限，且被动摄入式的空气渗透力有限，容易造成堆积的SiO表层被氧化，深层未氧化的情况。目前随着拉晶炉连续运行时间的进一步增加，SiO的产生量远超以往，采用被动进气的一次氧化工艺已经无法完全消耗SiO。当清灰作业时，简谐式除尘器下部灰仓内未被氧化的SiO接触大量空气，迅速氧化产生大量热量，高温烘烤会导致上部滤料烧损甚至粉尘爆炸。被烧损的滤材失去过滤功能，如不及时发现并更换，会使生产过程中的产生的SiO粉尘直接随气流进入后端的干式真空泵，不仅磨损真空泵部件，降低真空泵寿命，更严重的情况下粉尘会卡死真空泵，致使整个生产系统停产并出现外排气体粉尘超标。

发明内容

本发明的目的是提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，以解决上述现有技术存在的问题，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量。

优选的，通入的压缩空气的压强为0.01MPa～0.02MPa。

本发明还提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，包括依次连接的压缩空气接头、调压阀和流量控制阀，所述压缩空气接头自由端用于与压缩空气出气管道连接，所述流量控制阀出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

优选的，还包括扩散室，所述流量控制阀通过管路与所述扩散室连接，所述扩散室上设有出气管，所述出气管用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

优选的，所述流量控制阀为电磁阀。

优选的，连接所述流量控制阀和所述扩散室的管路上设有一个手动流量控制阀。

优选的，所述扩散室底部设有排污管，所述排污管上连接有排污阀。

优选的，所述手动流量控制阀为手动球阀。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，在拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，压缩空气在简谐式除尘器内扩散，氧化表层的SiO，并渗透氧化深层SiO，通过控制通入压缩空气的进气量，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生。