[发明专利]转移膜、转移组件和微器件曲面转移方法

权利要求书

1.一种转移膜，其特征在于，包括基底层、吸水层和拾取层，所述吸水层的一侧与所述基底层连接，另一侧和所述拾取层连接，所述基底层用于在所述吸水层吸水后与所述吸水层分离；所述拾取层用于拾取微器件，并用于将所述微器件转移至待转移基底上；

所述基底层包括第一基底和设于所述第一基底上的第一黏附层，所述第一黏附层与所述吸水层连接，所述第一黏附层用于在所述吸水层吸水后与所述吸水层分离；

所述第一黏附层靠近所述吸水层的一侧设有分离孔。

2.根据权利要求1所述的转移膜，其特征在于，所述拾取层远离所述吸水层的一侧设有保护层。

3.根据权利要求1所述的转移膜，其特征在于，所述拾取层采用第二黏附层，所述第二黏附层以粘接方式拾取所述微器件。

4.一种转移组件，其特征在于，包括待转移基底和权利要求1至3中任一项所述的转移膜，所述待转移基底设于所述拾取层远离所述吸水层的一侧，所述待转移基底用于承接所述拾取层上的所述微器件。

5.根据权利要求4所述的转移组件，其特征在于，所述待转移基底包括曲面衬底和第三黏附层，所述第三黏附层设于所述曲面衬底上，所述第三黏附层用于承接所述拾取层上的所述微器件。

6.一种微器件曲面转移方法，其特征在于，转移膜包括依次设置的基底层、吸水层和拾取层，所述基底层包括第一基底和设于所述第一基底上的第一黏附层，所述第一黏附层与所述吸水层连接，所述第一黏附层靠近所述吸水层的一侧设有分离孔；所述微器件曲面转移方法包括：

所述拾取层拾取微器件；

所述转移膜和所述微器件共同浸入水中；所述吸水层吸水，以使所述吸水层和所述第一黏附层分离；

取出所述基底层，以使所述吸水层、所述拾取层和所述拾取层上的微器件浮在水面；

将曲面基底浸于水中，且设于所述微器件远离拾取层的一侧，以使所述微器件附着于所述曲面基底上；

将所述曲面基底、所述微器件、所述拾取层和所述吸水层共同移出水面；

去除所述拾取层和所述吸水层。

7.根据权利要求6所述的微器件曲面转移方法，其特征在于，所述基底层包括第一基底和设于所述第一基底上的第一黏附层，所述第一黏附层靠近所述吸水层的一侧设有分离孔；

所述吸水层吸水，以使所述吸水层和所述基底层分离的步骤中：

所述吸水层吸水，以使水渗入所述分离孔，所述第一黏附层的粘性降低，所述吸水层与所述第一黏附层分离。

8.根据权利要求6所述的微器件曲面转移方法，其特征在于，将所述曲面基底、所述微器件、所述拾取层和所述吸水层共同移出水面的步骤后，还包括：

烘干所述曲面基底、所述微器件、所述拾取层和所述吸水层。