[发明专利]一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构

权利要求书

1.一种晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：包括行星齿轮组和用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，所述强磁体设于所述行星齿轮组下端面。

2.根据权利要求1所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：所述行星齿轮组包括顶板、底板、主动齿轮和若干依次套设的行星组，所述主动齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，所述行星组包括若干行星齿轮和齿圈，所述若干行星齿轮和主动齿轮或齿圈啮合且均匀分布，行星齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，齿圈可绕自身中心轴转动的安装于顶板，所述底板包括若干底板本体，所述底板本体设于齿圈之间且活动连接于齿圈。

3.根据权利要求2所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：所述强磁体设于所述主动齿轮转轴、行星齿轮转轴和齿圈下端。

4.根据权利要求2所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：所述主动齿轮和行星齿轮的转轴开设有吹风通孔，所述吹风通孔连通吹风机构用以吹动粉尘。

5.根据权利要求2所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：还包括旋转机构，所述旋转机构包括旋转转轴和连接架，所述连接架规定与所述顶板上端，所述旋转转轴下端连接连接架，旋转转轴上端可转动的安装于工作平台用以驱动行星齿轮组旋转。

6.根据权利要求5所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：还包括用以移动行星齿轮组的移动机构，所述移动机构包括相互啮合的齿轮和齿条，所述齿轮套设于所述旋转转轴，所述齿条安装于工作平台。

7.根据权利要求6所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：所述齿条可远离或靠近所述齿轮的滑动安装于工作平台用以实现间歇式移动行星齿轮组。

8.根据权利要求5所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，其特征在于：所述旋转转轴为分段式设计，且相邻两段间设有弹性机构。

9.一种晶圆片擦粉机，其特征在于：包括擦粉仓和如权利要求1至8中任意一项所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，所述擦粉机构安装于所述擦粉仓内。

10.根据权利要求9所述的晶圆片擦粉机，其特征在于：所述擦粉仓一侧设有观察门，所述观察门的下方位置设有粉尘收集槽，观察门通过门扣与擦粉仓实现开关扣合。