[发明专利]一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备

权利要求书

1.一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的内部开设有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的内表面设置有一号转动盘(8)、二号转动盘(14)和三号转动盘(19)，所述一号转动盘(8)和二号转动盘(14)位于同一水平线上，所述三号转动盘(19)位于所述一号转动盘(8)和所述二号转动盘(14)的连线的中垂线上，所述一号转动盘(8)和所述三号转动盘(19)的连线与所述二号转动盘(14)和所述三号转动盘(19)的连线呈直角设置，所述一号转动盘(8)、二号转动盘(14)和三号转动盘(19)的结构相同；

所述机体(1)的左侧面固定安装有一号电机(5)，所述一号电机(5)的输出端固定安装有转动杆(6)，所述转动杆(6)的远离一号电机(5)的一端延伸至机体(1)的右侧内沿，所述转动杆(6)的左端传动连接有传输带(13)，所述传输带(13)的远离转动杆(6)的一端传动连接有从动杆(15)，所述从动杆(15)与转动杆(6)的结构相同，所述转动杆(6)和从动杆(15)的外表面均固定套接有清洁套(10)，所述一号转动盘(8)和二号转动盘(14)之间的连线与转动杆(6)平行，所述转动杆(6)位于一号转动盘(8)和二号转动盘(14)之间的连线的上方，所述从动杆(15)位于一号转动盘(8)和三号转动盘(19)之间；

所述一号转动盘(8)、二号转动盘(14)和三号转动盘(19)的外表面均开设有插槽(21)，所述插槽(21)的内表面固定安装有柔性垫(22)，所述一号转动盘(8)、二号转动盘(14)和三号转动盘(19)的背侧均固定安装有二号电机(24)，所述二号电机(24)的背侧固定安装有滑块(23)，所述清洗槽(2)的内沿开设有横向的横向滑槽(11)和竖向的竖向滑槽(20)，位于所述一号转动盘(8)和二号转动盘(14)背侧的所述滑块(23)分别与横向滑槽(11)滑动连接，位于所述三号转动盘(19)背侧的所述滑块(23)与竖向滑槽(20)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备，其特征在于：所述机体(1)的底部固定安装有底座(3)，所述机体(1)的上方固定安装有上盖(7)，所述机体(1)的右侧固定安装有控制屏(4)，所述机体(1)的正面固定安装有入液管(9)，所述控制屏(4)的输出端与二号电机(24)电性连接，所述清洗槽(2)的内沿固定安装有出液管(25)，所述出液管(25)的输入端与入液管(9)导通，所述出液管(25)的输出端的延长线与所述一号转动盘(8)和所述二号转动盘(14)的连线的中心重合。

3.根据权利要求2所述的一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备，其特征在于：所述清洗槽(2)的内底部开设有洗涤液槽(12)，所述洗涤液槽(12)的开口处固定安装有一号固定板(16)，所述一号固定板(16)的内部固定安装有过滤网(17)，所述洗涤液槽(12)的内底部固定安装有水泵(18)，所述控制屏(4)的输出端与入液管(9)电性连接，所述水泵(18)的输出端与入液管(9)的输出端通过管道连接，所述机体(1)的背侧固定安装有固定架(26)。

4.根据权利要求3所述的一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备，其特征在于：所述固定架(26)的上表面固定安装有三号电机(27)，所述三号电机(27)的输入端与控制屏(4)电性连接，所述三号电机(27)的输出端传动连接有转杆(28)，所述转杆(28)的外表面开设有螺纹槽(34)，所述转杆(28)的远离三号电机(27)的一端活动套接有套环(29)，所述套环(29)的下表面固定安装有支撑台(30)，所述支撑台(30)的底部与固定架(26)的上表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于芯片生产的晶圆表面清洗设备，其特征在于：所述三号电机(27)的外表面活动套接有螺纹套(31)，所述螺纹套(31)的内表面开设有内螺纹，所述内螺纹与螺纹槽(34)螺纹连接，所述螺纹套(31)的侧面相同弧度固定安装有连接板(32)，所述连接板(32)的内表面转动连接有连接件(33)，所述连接件(33)的中部活动套接有连杆(35)。