[发明专利]一种曝光机在审
申请号: | 202011145548.7 | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN112114500A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 周超;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请(专利权)人: | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张乐乐 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 | ||
1.一种曝光机,其特征在于,包括:
基架,所述基架上设有物体放置部,所述物体放置部和安装基面呈角度设置;
夹具,其包括第一夹具和/或第二夹具,所述第一夹具靠近所述安装基面设置,所述第二夹具远离所述安装基面设置,所述第一夹具和所述第二夹具形成所述物体放置部;
曝光光源件,其设于所述基架上,为所述物体放置部提供曝光光源。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机,其特征在于,所述物体放置部和所述安装基面垂直设置。
3.根据权利要求2所述的一种曝光机,其特征在于,所述安装基面为水平设置,所述物体放置部为竖直设置。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的一种曝光机,其特征在于,所述曝光光源件包括曝光光源基体和曝光移动模组,所述曝光移动模组设于所述基架上且连接于所述曝光光源基体。
5.根据权利要求4所述的一种曝光机,其特征在于,所述曝光移动模组包括Z轴移动模组,所述Z轴移动模组连接于所述曝光光源基体,其中Z轴为沿所述物体放置部的高度方向;所述Z轴移动模组包括第一电机丝杠组件和同步传动组件,所述第一电机丝杠组件包括第一电机和多个第一丝杠,多个第一丝杠通过所述同步传送组件连接于所述第一电机,所述第一丝杠连接于所述曝光光源基体。
6.根据权利要求5所述的一种曝光机,其特征在于,所述第一电机为自锁电机。
7.根据权利要求1至3中任意一项所述的一种曝光机,其特征在于,所述第一夹具和/或所述第二夹具沿所述物体放置部的高度方向移动设置。
8.根据权利要求7所述的一种曝光机,其特征在于,所述第一夹具包括第一夹具本体和第一夹紧件,所述第一夹紧件连接于所述第一夹具本体上;所述第二夹具包括第二夹具本体和第二夹紧件,所述第二夹紧件连接于所述第二夹具本体上。
9.根据权利要求8所述的一种曝光机,其特征在于,所述第一夹具还包括多组传送组件,所述传送组件设于所述第一夹具本体内。
10.根据权利要求8所述的一种曝光机,其特征在于,相对设置的所述第一夹具本体之间的间距小于等于40mm。
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