[发明专利]一种曝光机在审
申请号: | 202011145548.7 | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN112114500A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 周超;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请(专利权)人: | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张乐乐 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 | ||
本发明公开一种曝光机,所述基架上设有物体放置部,所述物体放置部和安装基面呈角度设置;夹具,其包括第一夹具和/或第二夹具,所述第一夹具靠近所述安装基面设置,所述第二夹具远离所述安装基面设置,所述第一夹具和所述第二夹具形成所述物体放置部;曝光光源件,其设于所述基架上,为所述物体放置部提供曝光光源。此结构的一种曝光机,通过物体放置部和安装基面呈角度设置,且基架上的其他部件如夹具等需要与物体放置部相配合,而减小了曝光机投影至安装基面的占用空间,以便于其他相关装置的放置。
技术领域
本发明涉及曝光技术领域,具体涉及一种曝光机。
背景技术
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或者其他头体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备,其广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。
现有技术公开了一种曝光机,其包括水平工作台和曝光光源件,将被曝光物体置于水平工作台的台面上,曝光光源件对被曝光物体进行曝光。其中水平工作台沿水平方向的占用空间较大而致使曝光机整体沿水平方向的占用空间较大,不便于其他相关装置的放置。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的曝光机沿水平方向的占用空间大的缺陷,从而提供一种曝光机。
一种曝光机,包括:
基架,所述基架上设有物体放置部,所述物体放置部和安装基面呈角度设置;
夹具,其包括第一夹具和/或第二夹具,所述第一夹具靠近所述安装基面设置,所述第二夹具远离所述安装基面设置,所述第一夹具和所述第二夹具形成所述物体放置部;
曝光光源件,其设于所述基架上,为所述物体放置部提供曝光光源。
进一步地,所述物体放置部和所述安装基面垂直设置。
进一步地,所述安装基面为水平设置,所述物体放置部为竖直设置。
进一步地,所述曝光光源件包括曝光光源基体和曝光移动模组,所述曝光移动模组设于所述基架上且连接于所述曝光光源基体。
进一步地,所述曝光移动模组包括Z轴移动模组,所述Z轴移动模组连接于所述曝光光源基体,其中Z轴为沿所述物体放置部的高度方向;所述Z轴移动模组包括第一电机丝杠组件和同步传动组件,所述第一电机丝杠组件包括第一电机和多个第一丝杠,多个第一丝杠通过所述同步传送组件连接于所述第一电机,所述第一丝杠连接于所述曝光光源基体。
进一步地,所述第一电机为自锁电机。
进一步地,所述第一夹具和/或所述第二夹具沿所述物体放置部的高度方向移动设置。
进一步地,所述第一夹具包括第一夹具本体和第一夹紧件,所述第一夹紧件连接于所述第一夹具本体上;所述第二夹具包括第二夹具本体和第二夹紧件,所述第二夹紧件连接于所述第二夹具本体上。
进一步地,所述第一夹具还包括多组传送组件,所述传送组件设于所述第一夹具本体内。
进一步地,相对设置的所述第一夹具本体之间的间距小于等于40mm。
本发明技术方案,具有如下优点:
1.本发明提供的一种曝光机,所述基架上设有物体放置部,所述物体放置部和安装基面呈角度设置;夹具,其包括第一夹具和/或第二夹具,所述第一夹具靠近所述安装基面设置,所述第二夹具远离所述安装基面设置,所述第一夹具和所述第二夹具形成所述物体放置部;曝光光源件,其设于所述基架上,为所述物体放置部提供曝光光源。此结构的一种曝光机,通过物体放置部和安装基面呈角度设置,且基架上的其他部件如夹具等需要与物体放置部相配合,而减小了曝光机投影至安装基面的占用空间,以便于其他相关装置的放置。
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