[发明专利]纳米压印软模固定装置和纳米压印设备

权利要求书

1.一种纳米压印软模固定装置，纳米压印软膜包括压印部、及分设于所述压印部相对两端的两连接部，其特征在于，所述纳米压印软模固定装置包括：

至少一限位杆组，包括相并行的两限位杆，每一限位杆具有用以供所述连接部绕接的弧形面；以及

两牵引机构，分别与两所述连接部连接；所述压印部位于所述限位杆组的一侧，两所述牵引机构分别用以将所述连接部朝所述限位杆组的另一侧拉伸牵引，以使所述压印部张紧于所述限位杆组上。

2.如权利要求1所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述牵引机构具有多个牵引端，该多个牵引端间隔连接于所述连接部。

3.如权利要求1所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述限位杆组间隔设置有至少两组，在远离所述压印部的方向上，具有相背离弧形面的限位杆组和具有相向弧形面的限位杆组依次交替设置。

4.如权利要求1所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述限位杆为限位圆杆。

5.如权利要求4所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述限位圆杆可转动地设置。

6.如权利要求1至5任一项所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述纳米压印软模固定装置还包括：

平整度检测装置，包括检测光源、光传感器、及与光传感器电连接的处理器，所述检测光源用以向所述压印部发射检测光线，所述光传感器用以接收所述检测光线的反射光线，所述处理器用以根据所述反射光线判断所述压印部是否平整；以及

电机，用于使所述平整度检测装置相对所述压印部移动，以使所述检测光源所发射的检测光线能遍历所述压印部。

7.如权利要求6所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述电机与所述平整度检测装置驱动连接，用于驱动所述平整度检测装置移动，以使所述平整度监测装置相对所述压印部移动。

8.如权利要求6所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述检测光源为线光源。

9.如权利要求6所述的纳米压印软模固定装置，其特征在于，所述纳米压印软模固定装置还包括：

告警模块，用于在所述处理器判断所述压印部表面不平整时，发出警告。

10.一种纳米压印设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的纳米压印软模固定装置。