[发明专利]纳米压印软模固定装置和纳米压印设备

说明书

本发明公开一种纳米压印软模固定装置和纳米压印设备，其中，纳米压印软膜包括压印部、及分设于压印部相对两端的两连接部，纳米压印软模固定装置包括：至少一限位杆组，包括相并行的两限位杆，每一限位杆具有用以供连接部绕接的弧形面；以及两牵引机构，分别与两连接部连接；压印部位于限位杆组的一侧，两牵引机构分别用以将连接部朝限位杆组的另一侧拉伸牵引，以使压印部张紧于限位杆组上。本发明技术方案旨在平整固定纳米压印软模，以提升纳米压印的图形转移质量。

技术领域

本发明涉及纳米压印领域，特别涉及一种纳米压印软模装置和纳米压印设备。

背景技术

在工业生产中适用于大面积衬底的压印工作软模多为基于聚合物材料的软模，然而，现有的固定方法在装填固定该纳米压印软模时，易造成纳米压印软模的局部形变，导致纳米压印软模表面不平整，影响纳米压印的图形转移质量。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种纳米压印软模装置，旨在平整固定纳米压印软模，以提升纳米压印的图形转移质量。

为实现上述目的，本发明提出一种纳米压印软模固定装置。纳米压印软膜包括压印部、及分设于所述压印部相对两端的两连接部，所述纳米压印软模固定装置包括：

至少一限位杆组，包括相并行的两限位杆，每一限位杆具有用以供所述连接部绕接的弧形面；以及

两牵引机构，分别与两所述连接部连接；所述压印部位于所述限位杆组的一侧，两所述牵引机构分别用以将所述连接部朝所述限位杆组的另一侧拉伸牵引，以使所述压印部张紧于所述限位杆组上。

可选地，所述牵引机构具有多个牵引端，该多个牵引端间隔连接于所述连接部。

可选地，所述限位杆组间隔设置有至少两组，在远离所述压印部的方向上，具有相背离弧形面的限位杆组和具有相向弧形面的限位杆组依次交替设置。

可选地，所述限位杆为限位圆杆。

可选地，所述限位圆杆可转动地设置。

可选地，所述纳米压印软模固定装置还包括：

平整度检测装置，包括检测光源、光传感器、及与光传感器电连接的处理器，所述检测光源用以向所述压印部发射检测光线，所述光传感器用以接收所述检测光线的反射光线，所述处理器用以根据所述反射光线判断所述压印部是否平整；以及

电机，用于使所述平整度检测装置相对所述压印部移动，以使所述检测光源所发射的检测光线能遍历所述压印部。

可选地，所述电机与所述平整度检测装置驱动连接，用于驱动所述平整度检测装置移动，以使所述平整度监测装置相对所述压印部移动。

可选地，所述检测光源为线光源。

可选地，所述纳米压印软模固定装置还包括：告警模块，用于在所述处理器判断所述压印部表面不平整时，发出警告。

本发明还提出一种纳米压印设备，包括前述的纳米压印软模固定装置。

本发明的技术方案通过将纳米压印软模的连接部绕接于限位杆的弧形面，有效消解了纳米压印软模表面的受力不均。现有技术中，一般利用方形固定条对纳米压印软模进行固定，在实际生产中，方形固定条与连接部之间为线接触，易在纳米压印软模表面产生不均匀的摩擦力，无法改善纳米压印软模表面受力不均的情况。而在本发明的纳米压印装置中，在纳米压印软模张紧时，限位杆的弧形面与连接部抵接，两者的接触面为曲面，连接部受到限位杆的曲面摩擦力，能使压印部表面的受力得到调整。在限位杆的曲面摩擦力的作用下，压印部两侧受力方向并行于张紧方向，且两侧受力均匀，压印部表面得以保持平整，纳米压印的图形转移质量也能因此得到提升。

附图说明