[发明专利]一种倒角机研削台治具的清洗方法在审
申请号: | 202011154319.1 | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN112517528A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 赵福见;贺贤汉;王琪琳;徐红林;李永丽 | 申请(专利权)人: | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14;B23D79/02 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 200444 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒角 机研削台治具 清洗 方法 | ||
1.一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一,清洗药液的配置;清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂;
步骤二,将药液置入超声波清洗机,药液加热至45℃-55℃,将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟;
步骤三,采用45℃-55℃的纯水超声波清洗;
步骤四,风干或用气枪吹干表面残留水迹;
步骤五,研削台安装主轴平面擦拭干净;
步骤六,安装研削台治具,安装时,确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。
2.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述步骤三中,纯水超声波清洗反复清洗2次。
3.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述超声波清洗机开设有一排水孔以及进水孔,所述进水孔通过两进一出电磁阀分别连接一药液槽以及纯水槽;
所述药液槽内存储有所述药液;
所述纯水槽存储有所述纯水;
步骤二结束后,所述排水孔排出所述药液,所述进水孔导入纯水。
4.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述研削台治具是陶瓷研磨盘或者不锈钢研磨盘。
5.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:步骤六中,所述同心圆的精度在±100μm以内。
6.根据权利要求5所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述同心圆精度的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后,通过千分表测量研磨台治具的外圆。
7.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述步骤六中,所述研削台治具的芯振面振在±5μm。
8.根据权利要求7所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述研削台治具的芯振面振的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后,通过千分表测量研磨台治具的上端面。
9.根据权利要求7所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述步骤六中,所述研削台治具的芯振面振在±5μm。
10.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法,其特征在于:所述超声波清洗机包括一清洗池,所述清洗池上摆放有一镂空的支撑架,所述支撑架上安装有过滤网罩,过滤网罩的顶部的外边缘设有向外延伸且搭接在支撑架的顶部上方的过滤网罩上法兰;所述过滤网罩还包括至少两层内外设置的过滤层,位于外层的过滤层的网孔小于位于内层的过滤网的网孔,所有的过滤网的顶部与所述过滤网罩上法兰相连,且所述过滤网罩上法兰上开设有透水孔,所述透水孔位于相邻的两个过滤层之间;
还包括一用于摆放研削台治具的支撑网,所述支撑网的顶部设有向外延伸搭接在所述过滤网罩的顶部的外围的支撑网上法兰,且所述过滤网罩的顶部高于支撑网用于支撑研削台治具的支撑面;
还包括一水循环系统,所述水循环系统包括一导流管路,所述导流管路上安装有水泵,导流管路的进液端呈环状套设在所述支撑架外围的环状通路,所述导流管路的另一端连接喷淋管,所述喷淋管的喷淋口正对与所述支撑网的上方。
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