[发明专利]一种倒角机研削台治具的清洗方法在审
| 申请号： | 202011154319.1 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112517528A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 赵福见;贺贤汉;王琪琳;徐红林;李永丽 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14;B23D79/02 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 倒角 机研削台治具 清洗 方法 | ||
本发明涉及清洗领域。一种倒角机研削台治具的清洗方法，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC‑1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃‑55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25‑30分钟；步骤三，采用45℃‑55℃的纯水超声波清洗；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。
技术领域
本发明涉及机械领域，具体涉及一种倒角机研削台治具的清洗方法。
背景技术
为防止由于倒角机内研削台的长期污染，对加工产品的后续品质造成一定的影响，往往对定期对研磨台治具通过酒精或者抹布刷洗，然而，原有通过酒精及抹布的刷洗的方式，无法彻底去除研削台治具的表面及内部的污染。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种倒角机研削台治具的清洗方法，以解决现有酒精刷洗不彻底的问题。
本发明的技术方案是：一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂；
步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃-55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟；
步骤三，采用45℃-55℃的纯水超声波清洗；
步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；
步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；
步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。
本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。
TSC-1清洗剂是市售的表面活性剂。
进一步优选地，所述步骤三中，纯水超声波清洗反复清洗2次。
进一步优选地，所述超声波清洗机开设有一排水孔以及进水孔，所述进水孔通过两进一出电磁阀分别连接一药液槽以及纯水槽；
所述药液槽内存储有所述药液；
所述纯水槽存储有所述纯水；
步骤二结束后，所述排水孔排出所述药液，所述进水孔导入纯水。
进一步优选地，所述研削台治具是陶瓷研磨盘或者不锈钢研磨盘。本专利的清洗方法适用于陶瓷研磨盘以及不锈钢研磨盘的清洗。
进一步优选地，步骤六中，所述同心圆的精度在±100μm以内。便于保证清洗后的研削台治具的研磨效果。
进一步优选地，所述同心圆精度的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后，通过千分表测量研磨台治具的外圆。
进一步优选地，所述步骤六中，所述研削台治具的芯振面振在±5μm。便于保证清洗后的研削台治具的研磨效果。
进一步优选地，所述研削台治具的芯振面振的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后，通过千分表测量研磨台治具的上端面。
进一步优选地，所述步骤六中，所述研削台治具的芯振面振在±5μm。
采用上述清洗方法对研削台治具进行清洗并测试同心圆精度以及芯振面振的结果如下表：
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