[发明专利]外延设备及其测温装置

权利要求书

1.一种测温装置，用于测量位于工艺腔室(600)内的被测物体(700)的温度，所述工艺腔室(600)朝向所述测温装置的一侧设有测温窗，其特征在于，所述测温装置包括：

红外测温部(310)，所述红外测温部(310)固定安装于所述工艺腔室(600)之外，且沿所述测温窗的轴向，所述红外测温部(310)的投影位于所述测温窗之外；

反射部(320)，所述反射部(320)转动安装于所述工艺腔室(600)之外，所述反射部(320)可转动，以将所述被测物体(700)辐射出，且穿过所述测温窗的红外辐射能量反射至所述红外测温部(310)。

2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述反射部(320)的中心和所述被测物体(700)的中心的连线与所述被测物体(700)的表面垂直，所述红外测温部(310)位于所述反射部(320)和所述被测物体(700)之间。

3.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述测温装置包括第一架体(110)和第二架体(120)，所述第一架体(110)和所述第二架体(120)均与所述工艺腔室(600)相对固定，所述反射部(320)转动安装于所述第一架体(110)，所述红外测温部(310)固定安装于所述第二架体(120)。

4.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述反射部(320)通过转动部(200)转动安装于所述工艺腔室(600)之外，所述测温装置还包括位置电位器(400)，所述位置电位器(400)与所述转动部(200)配合，以获取所述转动部(200)的转动角度。

5.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述测温装置还包括温度显示部(500)，所述温度显示部(500)与所述红外测温部(310)配合。

6.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述红外测温部(310)为双色红外测温仪。

7.一种外延设备，其特征在于，包括工艺腔室(600)、承载基座和权利要求1-6任意一项所述的测温装置，所述工艺腔室(600)设有测温窗，所述承载基座设置于所述工艺腔室(600)内，所述红外测温部(310)固定安装于所述工艺腔室(600)之外，且沿所述测温窗的轴向，所述红外测温部(310)的投影位于所述测温窗之外；所述反射部(320)转动安装于所述工艺腔室(600)之外，所述反射部(320)可转动，以将所述承载基座辐射出，且穿过所述测温窗的红外辐射能量反射至所述红外测温部(310)。

8.根据权利要求7所述的外延设备，其特征在于，所述测温窗为条形结构件，且沿自所述承载基座的中心向外指向的直线所在的方向延伸。

9.根据权利要求8所述的外延设备，其特征在于，所述测温窗位于所述承载基座的中心的一侧，且所述测温窗与所述承载基座的中心沿所述测温窗的延伸方向间隔设置。

10.根据权利要求7所述的外延设备，其特征在于，所述外延设备还包括加热线圈，所述加热线圈的数量为多个，且均为圆环形结构件，多个所述加热线圈的圆心重合，且均设置于所述工艺腔室(600)内，所述加热线圈用于加热所述承载基座。