[发明专利]惯性计测装置、电子设备及移动体

权利要求书

1.一种惯性计测装置，其特征在于，具有：

基板；

惯性传感器，配置在所述基板的第一面；

盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及

端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，

在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分。

2.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述基板具有在所述俯视观察下配置在所述惯性传感器与所述端子连接部之间的槽。

3.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述槽在所述俯视观察下是包围所述惯性传感器的框状。

4.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述槽在所述第一面开口。

5.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，

所述槽在所述第二面开口。

6.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，

所述槽具有在所述第一面开口的第一槽和在所述第二面开口的第二槽。

7.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，

盖接合部在所述俯视观察下位于所述端子连接部与所述惯性传感器之间，所述盖接合部是所述基板与所述盖的接合部分。

8.根据权利要求7所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述槽在所述俯视观察下位于比所述盖接合部更靠向所述基板的中央侧的位置。

9.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述基板具有贯通孔，所述贯通孔在所述俯视观察下偏离所述惯性传感器与所述端子连接部之间而配置，并在厚度方向上贯通所述基板。

10.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述盖具有恒定电位。

11.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，

所述端子是从所述基板延伸的引线。

12.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至11中任一项所述的惯性计测装置；以及

控制电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行控制。

13.一种移动体，其特征在于，具备：

权利要求1至11中任一项所述的惯性计测装置；以及

信号处理电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行信号处理。