[发明专利]惯性计测装置、电子设备及移动体

说明书

本发明涉及惯性计测装置、电子设备及移动体。惯性计测装置具有：基板；惯性传感器，配置在所述基板的第一面；盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分。

技术领域

本发明涉及惯性计测装置、电子设备及移动体。

背景技术

在专利文献1中记载了一种传感器装置，该传感器装置具有：基板；惯性传感器，设置在基板的上表面；保护基板，覆盖惯性传感器并与基板的上表面接合；布线部，配置在基板的下表面并经由贯通基板的贯通电极而与惯性传感器电连接；以及作为端子的电极部，设置于布线部。

专利文献1：日本特开2016-138774号公报

然而，在专利文献1所记载的传感器装置中，由于在俯视观察下电极部与惯性传感器重叠，即由于惯性传感器位于电极部的正上方，所以应力容易经由电极部传递到惯性传感器。因此，存在由于该应力而导致惯性传感器的特性容易恶化的问题。

发明内容

本发明的一种方式是惯性计测装置，其特征在于，具有：基板；惯性传感器，配置在所述基板的第一面；盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述基板具有在所述俯视观察下配置在所述惯性传感器与所述端子连接部之间的槽。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述俯视观察下是包围所述惯性传感器的框状。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述第一面开口。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，所述槽在所述第二面开口。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，所述槽具有在所述第一面开口的第一槽和在所述第二面开口的第二槽。

优选的是，在本发明的一种方式中，盖接合部在所述俯视观察下位于所述端子连接部与所述惯性传感器之间，所述盖接合部是所述基板与所述盖的接合部分。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述俯视观察下位于比所述盖接合部更靠向所述基板的中央侧的位置。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述基板具有贯通孔，所述贯通孔在所述俯视观察下偏离所述惯性传感器与所述端子连接部之间而配置，并在厚度方向上贯通所述基板。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述盖具有恒定电位。

优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子是从所述基板延伸的引线。

本发明的一种方式是电子设备，其特征在于，具备：上述的惯性计测装置；以及控制电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行控制。

本发明的一种方式是移动体，其特征在于，具备：上述的惯性计测装置；以及信号处理电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行信号处理。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3是示出图1所示的惯性计测装置的变形例的俯视图。

图4是示出第二实施方式所涉及的惯性计测装置的剖视图。